Ca3Co4O9与SrTiO3薄膜热电性能的离子注入改性研究.pdf

摘要 随着现代社会的发展，日益严峻的能源危机和环境问题迫使人们开发新的能 量转换技术来解决这一问题。热电材料可以直接将热能转化为电能而不会引起任 何环境问题。虽然从目前的研究结果来看，热电能源转换技术不太可能完全替代 传统的发电技术，但是该技术可以成为传统能源生产技术的有效补充，特别是热 电器件能够直接将废热转化为电能，可以实现废热的回收利用，从而有效地提高 能源的利用率。 热电材料现在面临的最大挑战是能量转换效率还不够高。掺杂是一种有效提 高材料热电性能的重要方法，然而，目前氧化物薄膜热电材料的掺杂工艺或是非 常复杂，或是对设备条件要求很高，很难大规模生产。离子束注入技术已经成功 应用于现代的半导体器件生产领域，如果能够将离子束注入技术应用到氧化物薄 膜材料的掺杂工艺，可以大大地简化掺杂氧化物薄膜热电材料的制备过程，并且 容易实现大规模工业化生产。因此，为了找到一种既简单方便又容易工业化的掺 杂氧化物薄膜热电材料制备方法，我们对两种典型的氧化物薄膜热电材料(p型 Ca3C0409和玎型SrTi03)进行离子束注入改性的研究。 本文的具体工作内容如下： 薄膜。在175．380K的温度范围内，测量了系列薄膜样品的电阻率和塞贝克系数， 结果表明Nb的注入掺杂可以有效地