微型气体传感器和监测系统.ppt-西安交大聊城科技园.pptVIP

Company Logo 微型气体传感器和监测系统 单位：交大聊城科技园产学研中心 联系人：徐伟中 电话：0635-8908909 EMAIL：xwz5588@126.com 研究工作简介 基于固体电解质的微型电化学气体传感器 基于微加热板的集成式半导体气体传感器 基于红外吸收原理的气体检测系统 汇报内容 研究工作简介 西安交通大学精密工程研究长期从事MEMS技术研究与应用，在微传感器的研究方面处于国内领先地位。王海容课题则主要进行微型气体传感器的研究、开发与技术咨询工作，在全薄膜固体电解质气体传感器、微型半导体气体传感器及微型红外监测系统研究方面取得一系列成果。已研制成功微型低功耗CO2，O2，CH4，CO等气体传感器与监测系统。 课题组依托机械制造系统工程国家重点实验室的微纳制造平台，该平台具有先进微纳制造设备和理念，研究开发适合国情的先进微纳制造理论和技术，已形成一个微纳制造系统的研究和开发基地。 实验平台 磁控溅射机 四通道精密配气系统 丝网印刷机 电子束光刻机 电阻蒸发镀膜机 全薄膜固体电解质气体传感器研制 传感器断面结构 传感器芯片 传感器平面结构 有限元分析结果 应用：环境保护、农业生产、 食品储藏、工业废气、