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微小尺寸下的液體量測與驅動 楊龍杰 摘要本文針對高速散熱元件內的微米尺寸液體，介紹其中溫度、壓力的量測課題，以及相關的微細加工技術。並進一步談及微液體的驅動技術，使整個微液體系統兼具感測與驅動的功能，朝智慧化微系統的方向整合。引言 談到微小液體的課題，從事微機電(MEMS; Micro-electro-mechanical systems)或微加工(micromachining)研發人員立即想到的，不外乎微流道(microchannel)、微閥(micro-valve)與微幫浦(micro-pump)等元件的製作[12]。微生醫(Bio-MEMS)，、，？？？，，3,4]，。，，，，。傳統的微液體研究與微細加工’s law來看，”cond = - k(▽xT; ▽xT =dT/dx for 1-dimensional case (1) 在同樣的溫差dT與熱傳導係數(thermal conductivity)k下，dx縮小會帶來傳導熱通量(conductive heat flux) Q”cond的增加。(heat transfer coefficient)h與對流熱通量Q”conv(convective heat flux)的觀點來看，Q”conv= h((T; h=Nu(k/L (2) 在同樣的溫差(T、Nu (Nusselt number)k下，L縮小也