微细机械加工技术的应用研究-天津大学研究生e-Learning平台.docVIP

微细机械加工技术的应用研究 赵瑞营 天津大学机械学院机械工程专业2013级硕士生 摘要：微细加工技术是精密加工技术的一个分支，是加工多种微小尺寸零件的总称。是传统精密加工技术的延伸和半导体加工技术的进一步创新发展。微型机械加工传统加工方法的微型化，使用微型切削机床进行微小零件的机械加工，具有一些传统机械学理论难以解释的特点，对于加工条件和加工机床与刀具都有特殊的要求。 关键词：微细机械加工 微型切削机床 加工条件 机床与刀具 0 前言* 随着科学技术的发展,各类微小型光机电元件日益增高的需求逐渐成为一种趋势,它们在国防军工、生命医学、航空航天和微电子等高技术领域中的应用越来越广泛。这些需求不仅要求微小型光机电元件尺寸小、表面精度高,而且形状特征大都较为特异。在这种趋势下,微细加工技术逐渐受到学术界和工程界的关注1.1 微细机械加工的切削力 微细机械加工主要采用铣、钻和车三种形式，可加工平面、内腔、孔和外圆表面。在微细切削加工中，由于切削深度很小，切削常在晶粒中进行，所以其单位面积上的切削应力将急剧增大。例如，当在切削深度为100um的普通车削时，其切削应力只有500MPa；当切削深度为0.8um的微细切削时，切削应力增到约为10000MPa。由此可见，在微细切削时，切削刃上所承受的切削应力会急速地增加并变得很大，从而在切削刃的单位面积上产生极大的热量，使切削刃尖端处的