PSS10Ⅱ分类检测操作规程.docVIP

目的 确保PSS10Ⅱ分类检测处于良好的运行状态。 适用范围 PSS10Ⅱ分类检测操作及保养。 职责 3.1工厂工程部负责本指导书的编写和修改，设备的定期维护、保养及维修。 3.2技术部负责生产工艺参数的调整及确认。 3.3生产部负责设备的使用和日常的清洁工作。 术语和定义Auto）（图三）状态。 5.7根据生产不同的硅片，调用相应型号的工艺文件。如：125硅片为“Test125X125.dat”。 5.8再按下Cycle reset按钮（图四）使机器复位(其灯一直闪烁，直到复位结束)。 5.9Cycle Start按钮（图三）指示灯闪烁，提示复位结束；等待Berger测试系统能正常工作后，按下Cycle Start按钮进行生产。 图三 图四 Berger测试系统开机 6.1按下Berger 计算机和显示器电源按钮。 6.2旋开氙灯电源箱红色停机按钮（图五），按下电源绿色启动按钮（图五）。 图五 6.3Berger计算机系统启动后, 双击运行SCLoad测试程序。 6.4确认分类文件，校正光强（参见9校正光强）后即可自动运行。 Flash 使光强功率在950~1050W之间,尽量接近1000W。 6.5.2分类文件中必须有一个类别为TRA