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3.3.3 微机电系统技术 1 一种全新的必须同时考虑多种物理场混合作用的研发领域,它们的尺寸更小. 2 采用以硅为主的材料，电气性能优良 3 采用与集成电路（IC）类似的生成技术 （1）MEMS技术简述 MEMS是： * 目标是： 把信息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，集成于大尺寸系统中，从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。 微传感器 信号处理和控制电路 微执行器 通讯接口 电源 完整的MEMS * 3.3.3 微机电系统技术 （2） MEMS技术的发展历史 MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器; 第二轮商业化出现于20世纪90年代，主要围绕着PC和信息技术的兴起 第三轮商业化可以说出现于世纪之交，微光学器件通过全光开关及相关器件而成为光纤通讯的补充。 * 3.3.3 微机电系统技术 （2）MEMS技术的发展历史: 目前MEMS产业呈现的新趋势是产品应用的扩展，其开始向工业、医疗、测试仪器等新领域扩张。推动第四轮商业化的其它应用包括一些面向射频无源元件、在硅片上制作的音频、生物和神经元探针，以及所谓的“片上实验室”生化药品开发系统和微型药品输送系统的静态和移动器件。 * 3.3.3 微机电系统技术 （3）微传感器研究的现状与