Lecture1-1微米纳米测试技术1_610004772.pptVIP

微米／纳米测试技术 课程安排 课时分配：4次讲课，4次讨论 讲课：由尤政/董瑛老师担当 讨论课：针对专题布置作业，形式可以是设计、调研或综述报告，2人一组完成，由学生自己上台讲，作为平时成绩，占60％ 课程论文：占40％ 课程安排 课程主要内容 微米纳米技术概述 精密显微技术 2．1 光学显微镜的基本原理和构成 2．2 光学外差干涉显微技术 2．3 纳米轮廓测量技术 2．4 其他检测技术 电子显微镜和软X射线显微镜技术 3．1 电子显微镜的基本原理和构成 3．2 透射电子显微镜 3．3 扫描电子显微镜 3．4 正电子再发射显微镜 3．5 软X射线显微镜 课程主要内容 扫描探针显微镜技术 4．1 扫描隧道显微镜 4．2 原子力显微镜 4．3 其他扫描力显微镜 4．4 其他扫描探针显微镜 微成分分析技术 5．1 微成分分析的基本方法 5．2 质谱分析 5．3 俄歇电子能谱分析 5．4 光电子能谱分析 5．5 其他能量探针及分析技术 课程主要内容 微缺陷检测技术 6．1 微缺陷基本类型和检测方法 6．2 激光扫描层析技术 6．3 纳米激光雷达 6．4 纳米轮廓测量技术 6．5 其他检测技术 课程主要内容 微测试系统基础-MEMS传感器 7．1 典型MEMS传感器工作原理 7．2 微结构机械特性 7．3 应变与振动的测量 7．4 MEMS传感器的设计 微米纳米测试技术的应用 8．1 微尺寸测量 8．2 微结构三维形貌测量 8．3 微结构动态特性测试 8．4 微结构材料特性测试 8．5 MEMS综合测试系统 好的开始-知己知彼! 自我介绍(个人/研究方向/导师/课题) 你认为微米纳米测试技术应讲解些什么? 通过本课程学习你想了解什么? 你有什么关于测试方面的问题需要研讨? 1、微米／纳米技术概述 微米／纳米技术是指微米级到纳米级的材料、设计、制造、测量、控制和应用技术 微米技术是指在微米级（0.1微米～100微米）的材料、设计、制造、测量、控制和应用技术； 纳米技术是指在纳米级（0.1纳米～100纳米）的材料、设计、制造、测量、控制和应用技术 主要内容 微米纳米技术—概念与内涵 国际MEMS/NEMS的进展 国内MEMS/NEMS的进展 微米／纳米技术 泛指从微米到纳米尺度研究物质的特性和相互作用, 以及利用和开发这些特性实现特定功能的多学科交叉的科学和技术，主要包括微型机电系统（MEMS/NEMS, Optical-MEMS,Bio-MEMS, RF-MEMS等等）技术及纳米科技。 微米纳米技术汇集了电子、机械、材料、制造、检测，以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体， 是科学技术创新思维的结果，被认为是面向21世纪的新兴科技，将对人类产生深远的影响，甚至改变人们的思维方式和生活方式，极富挑战性。 Defense Applications of MNT 微米纳米技术的迅速发展 1987年，美国加州大学伯克利分校在集成电路工艺基础上，研制成功世界上第一台静电微电机，也是世界上最早的MEMS标志性器件 微米纳米技术的迅速发展 1999年，中国上海交通大学研制成功世界上最轻的电磁型微电机,其直径为1毫米，重12.2毫克, 最大转速18000转, 输出力矩1.5微牛顿米; 2001年5月, 美国康奈尔大学研制出世界上第一台生物分子纳米发动机。它由两部分组成：一部分用有机物充当发动机，另一部分用镍无机物充当螺旋桨。发动机螺旋桨长750纳米，宽150纳米。它由ATP合成酶驱动发动机运转。每加一次能量，纳米发动机可连续工作一小时。 微米纳米技术的迅速发展 2002年1月，加利福尼亚大学研制出的分子发动机，整台设备直径11纳米，高11纳米,可带动比自身体积大十几倍的物体。其原理是6个合成ATP分子构成一个三冲程、三缸发动机，第七个分子构成了中央的“轴心”。?通过化学反应，使这六个ATP分子围绕轴心做有序活动。?组装后的分子发动机每秒钟旋转8次而不会变形。 2003年7月24日，伯克利分校的Alex Zettl及其同事宣布研制出了迄今为止世界上最小的人造发动机。这种纳米尺度的发动机宽度仅有500纳米，300个这样的电子转子才相当于人类头发的直径大小。 微米纳米技术的迅速发展 2003年1月16日《自然》杂志报道，美国哈佛大学成功开发出一种新型纳米激光器，比人的头发丝还细千倍，可自动调控开关。 从十八年前的静电微电机到今天的分子发动机，从普通的激光器到新型的纳米激光器，我们可以充分感受到微米／纳米技术的迅速发展 关于“微米／纳米技术” 早在1994年丁衡高与白春礼院士(学会名誉理事长)就倡议使用“微米／纳米技术”这个名称 那时纳米科技远还没有像今天这样受到普遍关注. “微米／纳米技术”的提法应该说