第3章_压力检-王威立20140324.pptVIP

3.9 数字式压力计 3.9.1 MPX压力传感器 MPX2000系列压力传感器如图所示，其结构原理如图所示。 ? 3.9 数字式压力计 3.9.2 测量电路 由温度补偿、放大和A/D转换组成 3.5 电容式压力传感器 3.5.1 电容式传感器的工作原理 电容式传感器有三种基本类型： 变极距型、变面积型、变介电常数型。 将被测量（如尺寸、压力）的变化转换成电容量的变化。 一、变极距型电容传感器 二、变面积型电容传感器 三、变介电常数型电容传感器 3.5.2 差动电容传感器 在实际压力测量中，常使用差动点电容传感器，不但提高了灵敏度，也改善了非线性。 3.5.3 测量电路 电桥电路、调频电路、脉冲调宽电路和运算放大器式电路等。 一、桥式电路 空载电压为： 三、差动脉冲调宽电路 差动脉冲调宽电路属脉冲调制电路。它利用对传感器电容充放电使输出脉冲的宽度随电容量的变化而变化，再经低通滤波器可得对应被测量变化的直流信号。 差动脉冲调宽电路各点电压波形图如示 输出的直流电压与传感器两电容差值成正比。 四、调频电路 将电容式传感器接入高频振荡器的LC 回路中，当被测量使电容变化时，振荡频率也相应变化，故 称为调频电路。 图所示为调频电路原理图 五、运算放大器 将电容式传感器接入运算放大器中，作为电路的反馈元件构成的测量电路如图所示。 以Cx=εS/d 代入，可得： 上式表明，输出电压与d是线性关系。 3.5.4 电容式压力及力传感器 一、电容式差压传感器 二、变面积式压力传感器 3.6 霍尔式压力计 霍耳传感器是利用半导体 材料的霍耳效应进行测量的 一种传感器。 霍耳效应：磁场?电势差 重点：磁?电 霍耳效应： 电子在运动过程中，在磁场作用下受到洛仑兹力的作用，向一侧偏转，使该侧形成负电荷的积累，另一侧则形成正电荷的积累。这样因电荷积累而建立一个电场。 在置于磁场中的导体或半导体里通入电流，若电流与磁场垂直，则在与磁场和电流都垂直的方向上会出现一个电势差，这种现象称为霍耳效应 3.6.1 霍尔效应 霍尔元件的特性常用 灵敏度KH表示，即 此时 霍耳电压： UH=KH * I *B 霍耳电压：UH 控制电流强度：I 磁感应强度：B 改变B或I就可以改变UH KH ：霍耳灵敏度 KH＝RH / d RH－霍耳系数（材料相关） d －器件厚度(尺寸相关) 为提高灵敏度，应如何选取RH和d？ 3.6.2 霍尔式压力计工作原理 霍尔式压力计 3.6.3 霍尔式压力计的误差及补偿 霍尔式压力计的误差有两部分，一是弹性元件的变换误差；一是霍尔元件的变换误差。 一、不等位电势及补偿 不等位电势的产生有两个原因，如图所示。 几种补偿电路 二、霍尔电势的温度系数 主要是温差电势和灵敏度系数随温度变化两种 情况。 三、温度对内阻的影响 四、温度补偿 霍尔元件输入电阻和霍尔 电势的温度系数均为正的效果 较好的补偿电路图。实际测量中，要求较高时，常采用恒温方法。 3.7 电子称 3.7.1 电子称的原理 电子称的核心部件是称重传感器。称重传感器把机械力转换为电信号，经放大处理后，或显示，或输入数据处理系统。 图是一个比较简单称重系统框图。 3.7.2 称重传感器原理 图是振弦式称重传感器的工作原理图。