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 PAGE \* MERGEFORMAT 31 李贵龙 2014年4月 As-07 产品标准 检验标准 仪器设备 高纯砷 本文引用了高纯砷行业标准 YS/T 43-2011 高纯砷化学分析方法 YS/T 34.1-2011 YS/T 34.2-2011 YS/T 34.3-2011 砷 目录 产品标准篇 范围4 要求4 试验方法 5 检验规则 6 标志、包装、运输及贮存7 订货单(或合同)内容9 检验标准篇 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS) 范围10 方法提要10 试剂11 仪器13 分析步骤15 分析结果的计算16 分析报告16 允许差17 极谱法测定硒量(过程分析参考) 范围18 方法提要18 试剂 标准溶液18 仪器19 样品处理及测定19 分析报告与分析结果19 允许差20 质量保证和控制20 极谱法测定硫量(过程分析参考) 范围21 方法提要21 试剂 标准溶液21 挥发装置与仪器23 样品处理及测定24 分析报告与分析结果26 允许差26 质量保证和控制27 仪器设备篇 ICP-MS基本介绍28 玻璃分析仪器30 化学试剂31 化验员技能篇 化验员要求31 产品标准篇 《高纯砷行业标准》 中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 43-2011 1 范围 本标准规定了高纯砷的分类和标记、要求、试验方法、检验规则、产品标识、包装、运输、贮存等。 本标准适用于以工业砷为原料,经升华、氯化、精馏、氢还原等加工提纯后制成的纯度不小于99.999%、99.999 9%、99.999 99%的高纯砷。产品主要用于制造砷化镓等 = 3 \* ROMAN III~ = 5 \* ROMAN V族化合物半导体、外延源以及半导体掺杂剂等。 2 要求 2.1分类与标记 产品按砷含量(%)的不同分为三个牌号标记99.999As-0599.9999As-0699.99999As-072.2化学成分 As-07[仅对此产品细述,应用化学分析方法:电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定)] As含量(%)不小于 99.99999 % 杂质成份杂质含量(×10-7%),不大于NaMgAlKCaCrFeNi10551010101010CuZnSeSAgSbPbBi55----1010510备注:杂质总含量应不超过100×10-7%2.3尺寸 产品颗粒尺寸在2mm~20mm之间,小于2mm的砷量不应大于总量的5%;大于20mm的砷量不应大于总量的5%。 2.4净重及允许差 产品按净重1000克/瓶、1500克/瓶、3000克/瓶三种规格包装,每瓶净重允许差±1克。 2.5外观 不规则外观,结晶体呈灰色金属光泽,表面无肉眼可见的黑色、白色覆盖物或其它机械夹杂物。 2.6其它 As-07牌号的硫、硒含量由工艺保证,不影响使用。 3 试验方法 3.1化学成分 高纯砷中镁、铬、铜、锌、铅、铋、钠、钾、铝、银、钙、铁等14个杂质含量的测定按YS/T 34.1-2011的规定进行。 高纯砷中硒杂质含量的测定按YS/T 34.2-2011的规定进行。 高纯砷中硫杂质含量的测定按YS/T 34.3-2011的规定进行。 3.2尺寸 用2mm和20mm圆孔筛进行筛分。 3.3净重 采用精度为0.5克的天平检测。 3.4外观 目视检查。 4 检验规则 4.1检查与验收 (1)产品应由供方技术监督部门进行检验,保证产品质量符合本标准的规定,并填写质量证明书。 (2)需方应对收到的产品按YS/T 43-2011标准的规定进行复验。如复验结果与标准的规定不符时,应在收到产品之日起一个月内向供方提出,由供需双方协商解决。仲裁分析按供需双方认可的方法进行。 4.2检验项目 (1)每批产品应进行化学成分、外观质量的检验。 (2)检验项目包括化学成分、尺寸、净重、外观。 (3)化学成分为逐批检验,尺寸、净重、外观为逐瓶检验。 4.3组批 产品应成批提交验收,每批应由同一生产方法、同一规格的产品组成。通常以每一精馏釜的三氯化砷经氢还原生产的产品为一批。 4.4取样 从每批产品中随机采集100克样品,经碾碎、磨细、筛分、缩分,获得20克试样,每个样品分出一个送检试样,两个备检试样,采样操作就在1000级(6级)洁净室内进行。 4.5 检验结果判定 (1)若送检试样的化学成分检验结果与YS/T 34.1-2011规定相符,判定该产品合格。 (2)若试样化学成分检验不合格,按[2.1]规定的方法对备检副样进行

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