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PAGE \* MERGEFORMAT 31
李贵龙 2014年4月
As-07
产品标准 检验标准 仪器设备
高纯砷
本文引用了高纯砷行业标准 YS/T 43-2011
高纯砷化学分析方法
YS/T 34.1-2011
YS/T 34.2-2011
YS/T 34.3-2011
砷
目录
产品标准篇
范围4
要求4
试验方法 5
检验规则 6
标志、包装、运输及贮存7
订货单(或合同)内容9
检验标准篇
电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)
范围10
方法提要10
试剂11
仪器13
分析步骤15
分析结果的计算16
分析报告16
允许差17
极谱法测定硒量(过程分析参考)
范围18
方法提要18
试剂 标准溶液18
仪器19
样品处理及测定19
分析报告与分析结果19
允许差20
质量保证和控制20
极谱法测定硫量(过程分析参考)
范围21
方法提要21
试剂 标准溶液21
挥发装置与仪器23
样品处理及测定24
分析报告与分析结果26
允许差26
质量保证和控制27
仪器设备篇
ICP-MS基本介绍28
玻璃分析仪器30
化学试剂31
化验员技能篇
化验员要求31
产品标准篇
《高纯砷行业标准》
中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 43-2011
1 范围
本标准规定了高纯砷的分类和标记、要求、试验方法、检验规则、产品标识、包装、运输、贮存等。
本标准适用于以工业砷为原料,经升华、氯化、精馏、氢还原等加工提纯后制成的纯度不小于99.999%、99.999 9%、99.999 99%的高纯砷。产品主要用于制造砷化镓等 = 3 \* ROMAN III~ = 5 \* ROMAN V族化合物半导体、外延源以及半导体掺杂剂等。
2 要求
2.1分类与标记
产品按砷含量(%)的不同分为三个牌号标记99.999As-0599.9999As-0699.99999As-072.2化学成分
As-07[仅对此产品细述,应用化学分析方法:电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定)]
As含量(%)不小于 99.99999 %
杂质成份杂质含量(×10-7%),不大于NaMgAlKCaCrFeNi10551010101010CuZnSeSAgSbPbBi55----1010510备注:杂质总含量应不超过100×10-7%2.3尺寸
产品颗粒尺寸在2mm~20mm之间,小于2mm的砷量不应大于总量的5%;大于20mm的砷量不应大于总量的5%。
2.4净重及允许差
产品按净重1000克/瓶、1500克/瓶、3000克/瓶三种规格包装,每瓶净重允许差±1克。
2.5外观
不规则外观,结晶体呈灰色金属光泽,表面无肉眼可见的黑色、白色覆盖物或其它机械夹杂物。
2.6其它
As-07牌号的硫、硒含量由工艺保证,不影响使用。
3 试验方法
3.1化学成分
高纯砷中镁、铬、铜、锌、铅、铋、钠、钾、铝、银、钙、铁等14个杂质含量的测定按YS/T 34.1-2011的规定进行。
高纯砷中硒杂质含量的测定按YS/T 34.2-2011的规定进行。
高纯砷中硫杂质含量的测定按YS/T 34.3-2011的规定进行。
3.2尺寸
用2mm和20mm圆孔筛进行筛分。
3.3净重
采用精度为0.5克的天平检测。
3.4外观
目视检查。
4 检验规则
4.1检查与验收
(1)产品应由供方技术监督部门进行检验,保证产品质量符合本标准的规定,并填写质量证明书。
(2)需方应对收到的产品按YS/T 43-2011标准的规定进行复验。如复验结果与标准的规定不符时,应在收到产品之日起一个月内向供方提出,由供需双方协商解决。仲裁分析按供需双方认可的方法进行。
4.2检验项目
(1)每批产品应进行化学成分、外观质量的检验。
(2)检验项目包括化学成分、尺寸、净重、外观。
(3)化学成分为逐批检验,尺寸、净重、外观为逐瓶检验。
4.3组批
产品应成批提交验收,每批应由同一生产方法、同一规格的产品组成。通常以每一精馏釜的三氯化砷经氢还原生产的产品为一批。
4.4取样
从每批产品中随机采集100克样品,经碾碎、磨细、筛分、缩分,获得20克试样,每个样品分出一个送检试样,两个备检试样,采样操作就在1000级(6级)洁净室内进行。
4.5 检验结果判定
(1)若送检试样的化学成分检验结果与YS/T 34.1-2011规定相符,判定该产品合格。
(2)若试样化学成分检验不合格,按[2.1]规定的方法对备检副样进行
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