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- 2016-11-26 发布于湖北
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降低制绒不良,提高合格率
高成明
2010/06/24
Step 0 基本资料
高成明
刘修银
吕岩
李源伟
工艺试验实施及跟踪
生产制绒工序人员
工艺试验实施
杨军
设备技术支持
衣兰杰
新材料技术沟通
姜中华
试验物资采购
Step 1 改善主题与目标设定
降低制绒不良,使合格率达到国内先进水(0.2%)
1)制绒不良情况
Step 2 现状分析
2)制绒不良分类-1
制绒不良分类-2
制绒不良分类-3
3)制绒不良分布
Step 3 真因分析
制绒不良
人
机
环
法
料
班次不同
性别差异
熟练程度
槽体不同
温度不准
温度
湿度
溶液流
动力度不够
硅片表面不够干净
硅片晶向有问题
化学品纯度不够
碱浓度过低
温度太高
卫生
硅片清洗不彻底
IPA亲润性不够好
花篮设
计不合理
IPA添加太少
溶液流动方式不好
Step 4 对策拟定与实施
白斑色差
加强硅片清洗
1)调整清洗时间和温度
2)试用新厂家的清洗剂
3)试用SC-1清洗
4)高浓度碱粗抛
花篮印
减少硅片与花篮接触面积
减缓反应速度
增强溶液流动
增强溶液亲润
点接触花篮
降低制绒温度
开启循环泵
试用制绒辅助品
试用新厂家IPA
对策实施甘特图
项目
第一周
第二周
第三周
第四周
第五周
第六周
第七周
第八周
调整清洗时间和温度
试用新厂家清洗剂
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