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半导体纳米技术的发展与应用 半导体纳米技术的发展历史 半导体纳米技术的发展历史 半导体纳米技术的发展现状 半导体纳米技术目前存在的问题 纳米半导体的制备技术 纳米半导体的制备技术 分子束外延法 分子束外延法 纳米半导体的制备技术 气相法 纳米半导体的制备技术 硅纳米结构 硅纳米结构 C纳米管 C纳米管 * * * * * * 经过20多年的发展，现今半导体器件在其组件的特征尺寸在不断减小，小到纳米尺寸将引起质变。集成度不断提高的发展趋势，将电子器件逼进了纳米电子器件的领域。 其中纳米半导体的制备技术经历了三个阶段： 第一阶段：单一材料和单相材料。 第二阶段：纳米复合材料。 第三阶段：纳米组装体系、纳米尺度的图案材料。 现在我们着重来讲第三阶段。它的基本内涵是纳米颗粒以及纳米丝、管为基本单元在一维、二维及三维空间之中组装排列成具有纳米结构的体系 （如右图）。其中 包括纳米阵列体系、 介空组装体系、薄 膜镶嵌体系。纳米 颗粒、丝、管可以有序的排列而不同于第一、第二阶段中带有一定程度的随机性质。 半导体纳米科技是指把纳米技术应用到半导体材料上面，并通过物理法，化学法，综合法这三种制备方法制造出的有特定的声、光、电、磁、热性能的特殊材料。当半导体材料的尺度缩小到纳米范围时，其物理、化学性质将发生显著变化，并呈现出由高表面积或