MEMS技术在医疗中的应用——微医疗传感器 mems技术生物方向应用历史 1967年,SB卡特使用的阴影蒸发钯的岛屿,实现细胞附着。在此之后的首个生物MEMS研究,在该领域的后续发展缓慢,约20年。1985年,UNIPATH公司进行商业化实践,将第一个微流体装置内含纸质和第一微流体产品推向市场。 在1990年,Ciba-Geigy公司(现在的诺华),瑞士的安德烈亚斯·曼茨和H.迈克尔·威德默首先创造了这个词——微全分析系统(μTAS)在其开创性的论文中提出使用化学传感的微型全化学分析系统。 已经有三个主要的推动因素: 三个主要的推动因素 首先,过去几十年的药物发现在导致20世纪90年代,许多色谱分析在设备上并行运行的时间和成本已经大幅下降。 其次,创建人类基因组计划(HGP) ,在1990年10月开始,DNA测序能力的改善需求。使得毛细管电泳成为成为化学和DNA分离的一个重点。 第三,美国国防部DARPA支持了一系列的微流体研究计划 在20世纪90年代后,美国国防部意识到需要有一个制定现场部署微检测化学和生物制剂的机构,因为这都是是潜在的军事和恐怖主义威胁。 1993年,George.M. Whitesides,哈佛大学的化学家,推出了价格低廉的基于PDMS的微细加工,这彻底改变了生物M
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