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一、 滑轮的检查与更换 更换滑轮注意事项 1、每刀切割前检查滑轮及轴承使用情况,磨损严重的需要及时更换; 2、在易耗品计数器中将滑轮的使用寿命设定为100小时,禁止私自更改; 3、滑轮到达使用寿命,出现“易耗品计数器上升”报警时,必须更换槽位或滑轮,并将计数器清零,禁止更改滑轮使用时间或屏蔽; 4、更换滑轮时必须将所有滑轮同时更换,确保滑轮更换的同步性; 5、更换滑轮后,仔细确认滑轮安装情况以及气管连接情况; 6、将换下的滑轮清洗干净放入指定位置; 7、滑轮更换记录表的填写必须真实、完整、及时。 8 、 在使用寿命100小时内,如何有效的检查滑轮的使用状况。使用薄约0.5mm厚刀片在滑轮槽内,轻微用力晃动,是否有卡住或者刀片无阻力。这需要大量的实际操作经验积累。 MB和B5 机型滑轮的检查方式 二、 操作中可能导致弯曲片 1、锁晶托 1)选择合适的晶托,先用水冲洗干净再用气枪吹干,确保表面无异物、螺丝孔内无砂浆; 三、 切割原点的校正 切割原点的校正 HCT机台切割原点的校正 HCT切割原点以最先接触线网的为基准,点击原点复位,上升1mm后在点击一次原点复位。 四、砂帘的判定方式 五、布线网 a、布线前一定要检查主辊槽是否有磨损,表面是否粘有杂物,如有大量杂物则需剪掉线网刷洗主辊,先用回收悬浮液刷洗,再用无尘纸擦干净,最后用无尘纸粘取酒精擦拭干净并用压缩空气吹干净; b、布线前需检查钢线有无异常,并需要检查钢线有无压线或者受损的情况,否则就需更换新的钢线; c、布线时必须保证左右主辊槽正确对位,一定要将左右主辊槽数对准,如左1槽对右1槽; d、进出线口滑轮必须使用直角尺进行测量,保证进出线口钢线与主辊的线槽相平行。 d、跑新线时,观察移动架上下限位的情况,张力臂摆动是否异常; e、布好的线网不能有跳线、叠线、交叉线。如果出现使用胶带进行处理跳线,叠线后,必须使用酒精清理掉线网上的胶迹。 六、下片的操作 升棒前注意事项: a、待切割结束后关闭砂浆,检查硅块是否切透玻璃倒角(切至玻璃2-3mm),否则就需要加切; b、观察是否有掉片,倒角处是否有碎片、崩边; 升棒操作规范: a、将升棒速度设为30mm/min; b、升棒的同时注意观察有无夹线或卡线,有则应停止升棒,将线压平再继续; c、如发生大量卡线现象,硅片成八字型时,表面硅片间浆料很多,则剪线网升棒 下棒注意事项: a、升棒结束后观察掉片情况; b、硅棒中夹有掉的硅片时应将片拿下再下棒; c、下棒车必须与硅棒对齐,慢慢的拖入工件小车,同时观察工件小车两边是否会和硅片相碰撞,目的是避免硅棒刮伤或造成掉棒事故; d、卸片后停留不应操作40分钟,应及时送往预清洗区并交接数量; 八、断线处理办法和工序 断线处理办法和工序 首先做好断线记录(断线时间、机台号、部位、切割深度 断线图片)留好线头,详细步骤如下; 一、查明断线原因及断线情况。 二、如实填写切片断线信息记录表并在随工单上注明断线信息 三、.处理流程; 1、在出线端断线,宽度不超过10毫米的直接拉线切割。 2、切深≦40mm中部或进线端断线,以30mm/min直接升起迅速布线,砂浆冲洗硅片,冲片时在线网上铺上无尘纸,冲开粘在一起的片子后,迅速把晶棒降到距线网2mm处,然后以10mm/min的进给认真仔细的“认刀”。 3、中部或进线端断线,切深在50mm-80mm之间的,以10mm/min的速度升料到距进刀处30-40毫米停止。线速调到2m/s,以2%走线1cm以调平线网停止。打开砂浆8000流量均匀冲片子,把晶棒两侧的线网小心的剪掉(剪时要用手捏着)留出3-4厘米的线头,另一端不剪(进线端有线网的一定要保留该部分线网以便重新布线,剪两侧线网时一定要用手或其他夹紧物,夹紧预留的线网头)布线网,重新切割。 断线处理办法和工序 4、进线端或中部断线切深超过60mm的视情况能认刀的就认刀否则就反切或直接拉线正向切割。 5、进线端断线,第一次断线,切深在100mm.1换掉放线轮,用一个空的收线轮来代替。以低于原2N(左19和右21)的张力,切割线方向改为右,其他参数不变,手动2m/s的线速走1m,打开砂浆。 6、把晶棒提升至15mm-25mm处,然后从断线处拉出钢线,以4cm一根钢线的间距拉到收线端,收线张力改小1N,继续切割。经12N的线速走线100-200米,改张力为自动切割的张力,每秒1米,打开砂浆,走到出线端5米时,把张力改为15N,待线头在收线轮上绕2-3圈,改回原来的张力。把晶棒压到断线
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