七星扩散炉换源操作标准.docxVIP

目的 建立正确操作扩散工段更换磷源的规范，以保证扩散的质量及保护机器和人身安全。 二、范围 适用于电池生产线扩散工段更换磷源操作步骤和要求。 三、职责 3.1工艺技术人员 3.1.1负责扩散设备工序生产工艺运行的正常性、稳定性。 3.1.2负责部门内工艺运行原始资料的累积、保管，随时检查工艺运行状态，并记录异常，积极处理工艺异常。 3.1.3负责应对扩散设备常见、突出、重大的工艺异常，制定落实整改措施、预防措施、应急方案。 3.2设备技术人员 3.2.1负责扩散设备开关机、故障分析、设备维护及检修。 3.2.2如有工艺需求，积极配合工艺人员调整设备硬件设置。 3.2.3 负责部门内设备运行原始资料的累积，保管，随时检查设备运行状态，并记录异常，积极跟踪异常情况，处理设备故障. 3.3生产人员 3.3.1负责依照作业指导书要求，按标准进行生产作业，掌握正确的操作方法，确保操作安全、人身安全。 3.3.2细心总结操作经验，发现新问题或改善建议，及时向工艺技术员汇报。 3.3.3配合、协助设备的日常维护工作。 四、七星扩散炉换源操作标准 检查新源瓶： 1、对源瓶包装箱的外表面进行彻底打扫，保证不会对车间洁净度形成太大影响。（图1） 2、打开源箱去掉源瓶上方的保护垫，再将源瓶带外部透明塑料包装轻轻从箱中拿出，放在平稳的地方检查包装内是否有液滴。（图2） 3、拆开外包装塑料袋，左手托住源瓶底部右手轻握源瓶上部，观察源瓶的外表看瓶身是否有外观缺陷、源瓶的进出气管有无接错。（图3） 4、用PH试纸对源瓶所有的接口和接头螺母、开关阀门进行检测，看是否存在蒸汽泄漏现象。（图4） 图1 图2 图3 图4 换源： 1、源瓶再次复检一遍。 2、旧源的拆卸：按照顺时针方向，先关闭源瓶进气口阀门，再关闭出气口阀门，拆下源瓶与导气管各个进出气口的接头。两个气管接头暂时用PVC手套包住，防止接头污染。打开源温控制器，先将插在源瓶内的热偶拔出，再将源瓶从源温控制器内慢慢的取出，放入原来新源包装袋中装入箱子（图5、6） 图5 图6 3、一手握住源瓶接头部分，一手托住源瓶底部，将瓶移至恒温槽，瓶底暂时放在槽上用腾出的手握住瓶另一接头部分，将源瓶慢慢放入槽内；将源瓶进出气阀门与炉子导气管阀门对应连接起来，导气管细管与源瓶进气管连接，导气管粗管与源瓶出气管对应连接。用手拧紧螺母，同时将源瓶阀门上的螺母按照逆时针方向轻度旋转，注意力度。（图7-8） 图7 图8 4、连接完毕后按照先开出气阀门后开进气阀门的原则依次打开源瓶气体阀门，并将PH试纸捆绑在接头阀门上（通过观察PH试纸的颜色确定是否漏源），并察看通源工艺运行情况。（图9） 图9 5、脱去防护用品并将防护用品张挂于专门的区域内 6、并在流程单上注明已换新源 五、注意事项 1、领取源瓶规定实行“五双”的方式，即：双人领取、双人检查、双人运输、双人更换、双人处理的原则，确保整个换源过程的安全性 2、必须穿戴防护服、全面具、耐酸碱胶鞋 3、领取源瓶时要注意检查源箱上有无质检部检查的绿色合格标签 4、导气管细管与源瓶进气管连接，导气管粗管与源瓶出气管连接 5、每个阀门上系上PH试纸，便于及时检测 6、开始换源之前请确认废气室温度；废气室温度小于25℃在硅片出炉步的工艺步骤换源；大于25℃时，机台要在不运行工艺（显示黄色灯）时换源 7、每次换源之后，要及时通知工艺 8、换源过后，源温正常后方可运行工艺