原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
后清洗操作规程 确认CDA压缩空气和氮气供应已到位，阀门都已经打开 确认气体压力达到要求，若在偏差范围之外与厂务部门联系 确认纯水供应已到位，阀门已经打开 确认机器内部纯水供应阀门已打开 开机先将设备总电源开关打到ON 依次将设备各部分的送电开关打到ON 设备控制程序将自动启动 将操作面板下方的旋钮打成自动 点击系统启动画面，然后进入系统启动控制后点击回原点，机器将自动进行机械臂的复位，等待复位完毕后点击自动启动，机器将自动开始制程 系统启动后点击手动控制菜单里的监控画面，进入生产监控 将载片的篮子放到上料台，按一旁的上料确认按钮，上料马达将自动将篮子送入机器内开始制程 在手动控制菜单下按产量页可以查看产量记录，并可以清零 关机步骤 首先查看监控画面保证机器内部是空的没有载片篮 到电力控制柜内将各部分的电源开关全部达到OFF 最后将总电源开关关闭即可 * *
文档评论（0）