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第3章 半导体中载流子的统计分布 1、计算允带中的载流子浓度 2、获得载流子浓度随温度变化的规律。 需要的理论知识: 允许的量子态按能量的分布 电子在允许量子态上的分布 热平衡状态:一定温度下,产生和复合过程最终达到动态平衡。 热平衡状态下,半导体中导电电子、空穴都称为热平衡载流子。导电电子浓度和空穴浓度都保持一个稳定的数值。 温度改变,建立新的平衡态,热平衡载流子浓度随之改变。 3.1 状态密度 K空间允许的能量状态密度=V 考虑电子的自旋, 量子态密度=2V (三维晶格)。一个量子态只容纳一个电子 若为二维晶格,上述的V应该改为S。 3.1.2 状态密度 A. 量子态密度: 单位k空间中的量子态数. 半导体导带中的状态密度计算 简单假设:导带底处的极值k=0,等能面为球面,即E(k)~k关系为 代入(3.3式)得 实际情况:半导体材料,导带底等能面是旋转椭球面 mdn称为导带底电子状态密度有效质量。 对于Si、导带底有六个对称状态,s=6 mdn=1.08m0 对于Ge,s=4 mdn=0.56m0 价带顶附近E(k)与k关系 硅锗中,起作用的能带是轻空穴带和重空穴带两个极值相重合的能带。 其状态密度为两者之和,则价带顶状态密度的有效质量也为两者之和。 对于Si,mdp=0.59m0 对于Ge,mdp=0.37m0 适用范围: 具旋转椭球对称的能带。 影响状态密度的因素: 1.等能面形状: 即电子的状态密度有效质量. 2.E的大小. 3.给定的晶体体积?影响分布密度。 3.2 费米能级和载流子的统计分布 经典物理统计: 麦克斯韦-玻尔兹曼统计 (粒子可分辩) 3.2.1费米分布函数 服从泡利不相容原理的电子遵循费米统计规律 k0玻尔兹曼常数,T绝对温度,EF费米能级。 描述热平衡下电子在量子态上如何分布的一个统计分布函数。 关键参数:EF (费米能级) ?是系统的化学势,F 是系统的自由能 当系统处于热平衡状态,也不对外界做功的情况下,系统中增加一个电子所引起的系统的自由能的变化, 刚好等于系统的化学势,也等于系统的费米能级。 对应关系: 对导带:能级Ec,状态密度是Nc 对价带:能级Ev,状态密度Nv 1. 温度 A、影响Nc和Nv:与温度T3/2成正比关系.电子、空穴浓度与温度有关 B、影响占据几率 2. EF在能带中的相对位置; 3.2.4 载流子浓度乘积n0p0 特点:n0p0的乘积只与温度、材料性质有关(态密度有效质量、禁带宽度)。与杂质含量无关。不同材料,Eg不同,n0p0也不同。对某种半导体,一定温度下, n0p0不变。 3.6 简并半导体 简并化条件,重掺杂,使得EF在导带底或价带顶2k0T范围以内。 导带底的量子态基本已被电子所占据。或价带顶空穴基本备空穴所占据。 玻尔兹曼分布不再适用,必须考虑使用费米统计分布 讨论: 1、为什么硅半导体器件比锗器件的工作温度高? 2、若n型硅中掺入受主杂质,费米能级升高还是降低?若温度升高当本征激发起作用时,费米能级约在什么位置?为什么? 3、当温度一定时,杂质半导体的费米能级主要由什么因素决定?试把强N、弱N型半导体与强P、弱P半导体的费米能级与本征半导体的费米能级比较。 问题与讨论: 1.为什么说半导体中起作用的是导带底或价带顶附近的电子? 2.给出导带和价带中的载流子浓度分布公式. 3.温度对载流子浓度的影响,表现在哪几方面。 4. 定性画出不同温度下(200K、300K、400K)的费米能级分布(即EF随温度变化)情况。 ★本章重点内容★ 态密度的计算方法 允带(导带、价带)中的载流子浓度公式 杂质半导体中电离和未电离的杂质浓度公式 电中性条件 载流子浓度计算(电离、未电离) 1、n、p表达式的特点: 共同点:有效状态密度*占据几率。结构很对称 2、影响因素的特点(与占据几率影响因素一样): 对gc(E)fF(E)求导可知,最多电子数的能级出现在x=1/2处,即E=Ec+koT/2。 对应载流子分布见图3-5或表3-1 硅、锗在室温(300K)下的有效状态密度: 再次强调注意: 各常见半导体中的有效状态密度: 7.57×1018 5.64×1018 1.83×1019 Nv (cm-3) 4.35×1017 1.02×1019 2.81×1019 Nc (cm-3) 砷化镓 锗 硅 有效状态密度和温度紧密相关 平衡条件 (3.25) (3.27) 公式推导过程中,没有涉及是本征激发,还是杂质电离的。因而这些公式具
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