規劃表下載-鈦華科技無塵室設備.docVIP

潔淨無塵室設計規劃表 1.無塵室的名稱及配置:應註明各區的名稱、製程設備配置、施工區域面積尺寸的圖面。 2.無塵室潔淨度級等級:應註明需要的清淨級數等級(如有法規面需並行設計驗證)： 3.無塵室高度應註明樓板離地高度及樑柱位置、無塵室天花板高度、樑下高度、管道間高度及房間容積。4.建立無塵室設備及業主製塵設備需求表，如： 1.耗電量： KW 2.電源種類： 相 伏特 Hz 3.排氣量： CFM 4.冰水流量： LPM 5.恒溫恆濕條件(備註區域)： T= ± ℃、RH= ± % 6.外氣條件(備註區域)：□夏季35℃、85%RH，冬季6℃、50%RH。 □夏季 ℃、 RH，冬季 ℃、 RH。 7.製程設備機器發熱量： Kcal/hr×____台， KW×____台， HP×____台、 Kcal/hr×____台， KW×