第四讲：高能束加工.ppt

3.激光束加工 3.激光束加工 专题四:高能束加工 1.离子束加工 2.电子束加工 3.激光束加工 1.离子束加工 概念: 离子束加工是利用离子束对材料进行成型或改性的一种加工方法. 特点: (1)精度高 聚焦光斑可达1μm,可逐个剥离原子; (2)污染少 在较高真空中进行,可加工易氧化的金属,合金及半导体材料; (3)变形小 加工应力小,表面质量好. 1.离子束加工 加工分为四类: (1)离子刻蚀; (2)溅射镀膜; (3)离子镀; (4)离子注入. 其中:(1) ﹑(2)和(3)是利用离子的溅射效应; (4)为基于注入效应. 1.离子束加工 图1 离子碰撞过程示意图 1.离子束加工 1.离子束加工 1.离子束加工 1.离子束加工 1.离子束加工 2.电子束加工 特点: (1)精度高 束斑极小,可聚焦到0.1μm实现亚微米级宽度; (2)加工范围广 微小束斑上达到10E7～10E9W/cm2,不产生宏观应力和切削变形; (3)生产率高 能量利用率达90%,打孔焊接效率高; (4)可控性好 加工过程便于实现自动化; (5)无污染 在真空中进行,加工表面不