MEMS工艺研究报告.pptVIP

课程内容 第一章 绪言（2） 第二章 半导体制造技术（6＋4） 第三章 硅微加工技术（6＋2） 第四章 光刻技术（3＋2） 第五章 LIGA技术（3） 第六章 微机械装配与集成（3＋2） 第七章 典型微机械系统装置（4） 第八章 MEMS制造设备（3） 第一章主要内容 MEMS的基本概念及其特点 MEMS的发展概况 MEMS的应用领域 MEMS工艺的基本概念 MEMS工艺的国内外情况及发展趋势 微机电系统（MEMS）的定义 什么是MEMS 微机电系统（MEMS）是指用微机械加工技术制作的包括微传感器、微致动器、微能源等微机械基本部分以及高性能的电子集成线路组成的微机电器件与装置。 各个国家不同的定义 美国：微型机电系统 MEMS: Micro electro mechanical system 日本：微机械 Micro machine 欧洲：微系统 Micro system 什么是微型机电系统 MEMS中的核心元件一般包含两类：一个传感或致动元件和一个信号传输单元。下图说明了在传感器中两类元件的功能关系。 为什么要学习MEMS？——主要特点 器件微型化、集成化、尺寸达到微米数量级 功能多样化、智能化 功能特殊性 能耗低、灵敏度高、工作效率高 MEMS与传统机械有什么区别？ 微尺寸效应 表面与界面效应 量子尺寸效应 加工方式 第一章主要内容 MEMS的基本概念及其特点 MEMS