薄膜制备介绍.docxVIP

下载本文档

9
0
约 10页
2016-11-29 发布于湖北
举报
版权申诉

薄膜制备介绍.docx

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

《当代物理前沿》小论文题目：薄膜的制备与检测学院：理学院班级：应用物理学2012级1班姓名：李生武学号： 2012518066 日期： 2015 年 11 月 1 日石河子大学理学院物理系制薄膜的制备与检测一．镀膜设备采用日本 ANELVA 公司 SPC-350 多靶磁控溅射仪制备，SPC-350 多靶磁控溅射仪的外观及真空室结构如图 1.1 所示。该溅射仪安装有一个直流阴极（DC）和两个可独立控制的射频阴极(RF)。基片架位于三个阴极中间并可围绕腔体中心轴转动。图1.1 ANELVASPC350 多靶磁控溅射仪外观(a)及真空室结构(b) 实验基片采用单晶Si 和不锈钢。基片表面的污染严重影响所制备的薄膜的质量和性能，本实验中对基片采用超声波清洗，先用丙酮进行超声波清洗，以去除基片表面的有机物，然后用酒精进行两次超声波清洗。将清洗好的基片快速烘干，装入真空室。硅钛 HYPERLINK /cpro/ui/uijs.php?adclass=0app_id=0c=newscf=1001ch=0di=8fv=17is_app=0jk=38b9d4aaa569beak=%B1%A1%C4%A4k0=%B1%A1%C4%A4kdi0=0luki=10n=10p=baiduq=baidusiteerror_cprrb=0rs=1seller_id=1sid=ea9b56aa4a9d8b03ssp2=1stid=0t=tpclicked3_hctu=u1615258u=http%3A%2F%2Femuch%2Enet%2Fhtml%2F201205%2F4467881%2Ehtmlurlid=0 \t _blank 薄膜设备名称：? ? ? ? 高真空多靶磁控溅射镀膜机设备型号：? ? ? ? JCP-350主要技术指标真空腔室? ? ? ? φ350 mm×H400mm； HYPERLINK /cpro/ui/uijs.php?adclass=0app_id=0c=newscf=1001ch=0di=8fv=17is_app=0jk=38b9d4aaa569beak=%D5%E6%BF%D5%CF%B5%CD%B3k0=%D5%E6%BF%D5%CF%B5%CD%B3kdi0=0luki=5n=10p=baiduq=baidusiteerror_cprrb=0rs=1seller_id=1sid=ea9b56aa4a9d8b03ssp2=1stid=0t=tpclicked3_hctu=u1615258u=http%3A%2F%2Femuch%2Enet%2Fhtml%2F201205%2F4467881%2Ehtmlurlid=0 \t _blank 真空系统? ? ? ? 复合 HYPERLINK /cpro/ui/uijs.php?adclass=0app_id=0c=newscf=1001ch=0di=8fv=17is_app=0jk=38b9d4aaa569beak=%B7%D6%D7%D3%B1%C3k0=%B7%D6%D7%D3%B1%C3kdi0=0luki=7n=10p=baiduq=baidusiteerror_cprrb=0rs=1seller_id=1sid=ea9b56aa4a9d8b03ssp2=1stid=0t=tpclicked3_hctu=u1615258u=http%3A%2F%2Femuch%2Enet%2Fhtml%2F201205%2F4467881%2Ehtmlurlid=0 \t _blank 分子泵+直联旋片泵, HYPERLINK /cpro/ui/uijs.php?adclass=0app_id=0c=newscf=1001ch=0di=8fv=17is_app=0jk=38b9d4aaa569beak=%C6%F8%B6%AFk0=%C6%F8%B6%AFkdi0=0luki=1n=10p=baiduq=baidusiteerror_cprrb=0rs=1seller_id=1sid=ea9b56aa4a9d8b03ssp2=1stid=0t=tpclicked3_hctu=u1615258u=http%3A%2F%2Femuch%2Enet%2Fhtml%2F201205%2F4467881%2Ehtmlurlid=0 \t _blank 气动真空 HYPERLINK /cpro/ui/uijs.php?adclass=0app_id=0c=newscf=1001ch=0di=8fv=17is_app=0jk=38b9d4aaa569beak=%B7%A7%C3%C5k