微纳尺度传感器讲稿.pptVIP

霍尔传感器 应用 归纳起来，霍尔传感器有三个方面的用途： ①当控制电流不变时，使传感器处于非均匀磁场中，则传感器的霍尔电势正比于磁感应强度，利用这一关系可反映位置、角度或励磁电流的变化。 ②当控制电流与磁感应强度皆为变量时，传感器的输出与这两者乘积成正比。在这方面的应用有乘法器、功率计以及除法、倒数、开方等运算器，此外，也可用于混频、调制、解调等环节中。 ③若保持磁感应强度恒定不变，则利用霍尔电压与控制电流成正比的关系，可以组成回转器、隔离器和环行器等控制装置。 纳米传感器 气敏传感器 湿敏传感器 压敏传感器 气敏传感器 气敏传感器是一种检测特定气体的传感器。它主要包括半导体气敏传感器、接触燃烧式气敏传感器和电化学气敏传感器等，其中用的最多的是半导体气敏传感器。 气敏传感器 它将气体种类及其与浓度有关的信息转换成电信号，根据这些电信号的强弱就可以获得与待测气体在环境中的存在情况有关的信息，从而可以进行检测、监控、报警；还可以通过接口电路与计算机组成自动检测、控制和报警系统。 原理 在压电晶体表面涂覆一层选择性吸附某气体的气敏薄膜，当该气敏薄膜与待测气体相互作用，使得气敏薄膜的膜层质量和导电率发生变化时，引起压电晶体的声表面波频率发生漂移。通过测量声表面波频率的变化就可以获得准确的反应气体浓度的变化值。 甲醛气敏传感器 酒精气敏传感器 应用 气敏传感器的应用主要有：一氧化碳气体的检测、瓦斯气体的检测、煤气的检测、呼气中乙醇的检测等等。 湿度传感器 湿度传感器是指能感受气体中水蒸气含量，并转换成可用输出信号的传感器。 原理 湿度传感器的工作原理是：由半导体纳米材料制成的陶瓷电阻具有明显的湿敏特性，环境湿度迅速引起其表面或界面离子价态和电子运输的变化 压敏传感器 在压敏传感器中研究和应用日渐活跃的是氧化锌系纳米传感器，它不但适用于低电压器件，而且更适用于高电压器件，它能量吸收容量高，在大电流时非线性好，响应时间短，电学性能极好，且寿命长。 原理 纳米氧化锌压敏传感器高度的非线性电压－电流关系，主要由绝缘晶界层决定。 两个ZnO分解，形成填隙Zn原子，同时产生氧空位V0，如下式所示：ZnO→Zn+V0+1/2O2 Zn及V0经一次和二次电离，就形成以e－为载流子的N型半导体了。 总述 传感器在经济、科技和军事领域中已得到 广泛应用。现代信息产业的三大支柱是传感器 技术、通信技术和计算机技术, 它们分别构成 了信息系统的感官、神经和大脑。所以说传感 器是信息社会的重要技术基础, 是信息采集系 统的首要部件。 谢谢大家！ 微纳尺度传感器 演讲：张文泉 组员：张文泉，刘月 微纳尺度传感器的发展 微机电系统 随着微电子加工技术的不断发展, 其加工尺寸正从微米量级向纳米量级推进。微型机电系统就是随微电子技术发展起来的一个产物。所谓微型机电系统是指那些大小在毫米量级以下、构成元件尺寸在微米、纳米量级的可控制、可运动的微型机电装置。 微型机电系统不仅指体积微型化, 而且还指可大批量重复生产, 集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理、控制、通信等功能于一体的系统, 其中的微型传感器的作用就是采集外部信息。 外部信息（物理量）：位置、速度、加速度、压力、光、声音等。 微纳传感器的作用 微型传感器把上述的物理量转换成电信号或其它能处理的信号, 并提供给微系统, 微系统据此作出正确判断, 向微执行器发出指令, 完成一定的任务。可见, 微机电系统是一个完整的具有一定功能的系统, 其中的微型传感器是不可缺少的重要的一部分。 几种典型的微型传感器 微型压力传感器 微型加速度传感器 磁学量传感器 一、微型压力传感器 具有很高的实用价值并得到较广泛应用。 称重压力传感器 超小型压力传感器 原理 所谓压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗，极低的成本。其原理图如右图所示 压力传感器的应用 压力传感器广泛应用于汽车电子：如TPMS（轮胎压力监测系统）、发动机机油压力传感器、汽车刹车系统空气压力传感器、汽车发动机进气歧管压力传感器（TMAP）、血压计、橱用秤、健康秤等。 二、微型加速度传感器 加速度传感器是一种惯性传感器，一般由敏感元件、交换元件、测量电路三部分组成，可用如下框图表示： 微型加速度传感器 根据传感器敏感元件和转换原件的不同，加速度传感器可以分为电容式、压电式、光纤式、压阻式等类型。 电容式加速度传感器 电容式加速度传感器可以将振动位移参量的变化转变成为电容量的变化，其基本敏感机理比较简单。 简单原理 上下极