白光干涉仪介绍剖析.pptVIP

电感和电容式位移传感器 测量精度高 测量范围小，不适合在垂直扫描白光干涉测量系统中 激光干涉位移传感器 较大的测量范围、较高的分辨率和测量精度 通常结构复杂，对环境要求较高 衍射光栅干涉位移传感器 测量范围大，对使用环境没有严格的要求，故可精确计量PZT垂直进给 各传感器对比 光路图 干涉条纹仅出现在有限空间范围 作为干涉测量仪器的基准 光程差为零时光强最大 调整光程差，确定位移量算出各点相对高度 显微干涉单元 垂直扫描 距离高对应浅色区 距离低对应深色区 镜头 选择物镜的依据： 1、视场，确定测量的区域 2、光学分辨率，它能区分出的最小特征 3、倾斜度，它显示出怎样的曲面能够被测量，特别是很粗的表面 用物镜专用的储存盒 白光扫描干涉 单色光干涉 白光扫描干涉 白光干涉 白光干涉时，各波长产生各自的干涉条纹 白光：光谱中包含整个可见光谱区域的光谱成分的光源 光程差为零，各波长零级条纹完全重合，光强最大 工作时，干涉显微镜通过一个线性位置扫描器（常用PZT）驱动以改变测量臂的长度，在扫描过程中记录每一个像素点的光强值，由此可得到一系列的白光干涉光强值。 白光与单色光对比 白光扫描干涉 寻找零光程差位置的依据 白光干涉的对比度随光程差的增大而降低 白光扫描干涉 不同高度的两个点 光强峰值位置不同 峰值对应的测量臂反映高度差 核心内容 提取 白光干涉扫描技术 白光干涉是一种新型的表面形貌测量方法，能实现对表面形貌的三维测量。它通过扫描定位被测表面各点的最佳干涉位置得到表面各点相对高度，重构表面三维轮廓，实现对物体三维形貌的测量。 单色光干涉 双光束干涉原理图（迈克尔逊干涉仪） 光程差 相位差 光强分布符合余弦规律 两束光经反射折射后，同时到达分光镜上面的干涉板 半反射膜 从扩展光源S发出的光射向平行平面透明薄板P1。P1的后表面镀有半反射膜，这个半反射膜把S射来的光束，分成振幅近似相等的反射光1和透射光2，故P1称为分束板。光束1射向平面镜M1；光束2透过补偿板P2射向平面镜M2。M1和M2是在相互垂直的两臂上放置的两个平面反射镜，二者与P1上的半反射膜之间夹角为450，所以，1、2两束光被M1和M2反射后又回到P1的半反射膜上，再会集成一束光射向E。由于这两束光来自光源上同一点，因而是相干光，眼睛从E处向M1方向望去，可以观察到干涉图样。P2是补偿板，它的作用是使1、2两光束在玻璃中经过的光程完全相同，为了使其材料和厚度与P1完全相同，制作时从同一块精密磨制的平板切开而成。P2、P1平行放置。 反射镜M2是固定的，M1可以在导轨上前后移动，以改变1、2两束光的光程差 白光干涉 1. 白光是光谱中包含了整个可见光谱区域的光谱成分的光源，且光谱为连续谱。 2. 白光干涉时，各波长将产生各自的干涉条纹，光强分布规律符合前面单色光的光强公式。 3. 当光程差为零（零级条纹处）时，各波长的零级条纹完全重合。随着光程差及干涉级数的增加，各波长的干涉条纹彼此逐渐错开，使得条纹对比度逐渐下降，到一定程度时干涉条纹消失。光谱范围越宽，这种现象越明显。 白光干涉 光源的相干长度 为光源平均波长的平方 为光源带宽 宽带光源的相干长度短，时间相干性差 白光干涉时光强变化曲线 在零级条纹（或零光程差位置）附近的条纹对比度最大，随着级数的增加，干涉条纹对比度迅速下降，直到条纹消失 白光干涉 对于白光，双光束干涉光强变化的一般表达式为 为背景光强，反映光强的直流分量 m为条纹可见度 v’为相干包络项，单色光源时v’=1 M为相干调制度，M=m v’反映光强幅值的变化 光程差为0时，发生最佳干涉M值最大 白光扫描干涉技术 宽带光源的相干长度短，时间相干性差，由它产生的两束光波之间的非相干光程差极小，基本上要在等光程差位置附近才能观察到干涉条纹，且条纹也只有为数不多的几条。 图为用CCD相机采集的光滑平面产生的一幅干涉图样，可看出干涉图像由交替变幻的亮暗干涉条纹组成，中央一条黑纹为零级条纹，它是零光程差位置，周围有几条互相对称的比较清晰的条纹。干涉条纹的数目与条纹图像的定向取决于采样平面与参考平面的相对倾斜角度，干涉条纹最亮点将出现在对焦最好的地方。 白光扫描干涉技术 白光扫描干涉技术正是利用这一特征实现的。移动干涉条纹，并扫描整个被测表面时，对于被测表面上的任意一个采样点，其光强呈现图中的变化趋势。 当光程差接近相等时，条纹对比度变化剧烈并呈非周期变化性。该特性很容易与其他级条纹相区别，利用这一特性实现对零光程差位置测量。这是白光扫描干涉测量的关键。 白光扫描干涉技术 采用白光干涉技术测量表面时，白光干涉图样显著的特征难以获得，因为条纹只在有限的空间范围内出现，若干涉仪聚焦不好或散射不均匀，条纹甚至无法获取。这使得条纹的难获得性对零级条