工程光学第5章角度及角位移测量讲述.pptVIP

第六章 角度及角位移测量 第一节 概述 一．角度单位及量值传递 角度单位：度（°），分（′），秒（″）和弧度（rad) 角度测量： 将被测角度与标准角度进行比较并确定被测角度的量值。 角度量值的传递过程： 逐级用高精度角度标准检定低精度角度标准。 二．角度的自然基准和圆周封闭原则 自然基准：360°圆周角 圆周封闭原则：整圆周上所有角间隔的误差之和为零（圆周内误差封闭的原理 ） 三．实物基准 实物基准：传统的角度实物基准是角度块规，后来是以高精度等分360o的圆分度器件. 包括：高精度度盘、圆光栅、圆感应同步器、角编码器、多面棱体、多齿分度盘!!!!! 1.高精度度盘：常用于角度及圆分度误差的静态测量。 2.圆光栅：光栅盘的分辨率多为10??,20??,用于动态测量。因其能自动瞄准读数，常用于高精度智能化仪器及加工机械中。 3.圆感应同步器：包括激磁绕组（固定盘）和感应绕组（动盘）两部分。由于抗干扰能力强，常用于加工现场的测量。 第二节 单一角度尺寸的测量 直接测量 1.测角仪（绝对测量） 2.工具显微镜（绝对测量） 3.自准直仪 (相对测量）!!!!!!!!!!!! 4.激光干涉小角度测量仪（相对测量） 间接测量 坐标测量 平台测量 其他测量方法 2. 工具显微镜 测量范围： 角度样板、螺纹的牙型角、齿条上的齿形角以及刀具锥柄的锥角等。采用影像法瞄准时，成像的平行光应与被测角度所在平面垂直，必须正确调焦使轮廓影像清晰。由于对线精度高于压线精度，所以，用分划板上的米线瞄准角轮廓时，采用如图所示的对线方法，即让米字虚线与轮廓边缘保持一个狭窄光隙，以上光隙的宽度是否一致来判断是否对准。 原理： 自准直分化板2和测微分划板5都位于物镜3的焦平面上。光源1发出的光束照射自准直分划板2，由物镜3将分划板像成至无穷远；经反射镜 或工件表面反射后，自准直分划板2的像有由物镜再次成像在目镜测微分划板5的刻划面上，用目镜6可观察到自准直分划板像与测微分划板零位的相对位置，由此可确定反射面4的法线与光轴的夹角。 图a中，光源S发出的光，照亮了位于物镜焦面上的分划板，经物镜后成平行光束，这样的简单光学装置即平行光管。垂直于光轴的反射镜反射回来的平行光束通过物镜仍在分划板上的原来位置成一实象。这种现象称为“自准直”。 度盘分度误差检定数据处理 三、圆分度误差的相对测量 圆分度误差的相对测量是用某一个定角（由两个瞄准 　装置组成的角度或任选的一个分度间隔）作相对基 　准，依次与被检器件的各分度间隔进行比较，从而测 　得各分度间隔相对于相对基准的偏差值。再利用圆周 　封闭特性，求出相对基准对理论分度间隔的偏差，继 　而求得个分度间隔的绝对间隔误差。 多面棱体分度角的相对测量法 多面棱体是一种高精度的角度计量标准器，它是以底面为定位基面的正棱体，带中心孔也可做定位用。 下图为用相对法测量多面棱体的示意图，定角为两精度相等的自准直仪光轴组成的夹角β 。β不要求已知，但在测量过程中应保持恒定，测量时将其依次与被测棱体各相邻工作面法线间的夹角φi进行比较。用自准直仪定位，自准直仪读数，共读得n个读数，则应有a1、a2…an、 则应有 由圆周封闭特性可知 所以得 各被测角间隔即为 * * 本章主要内容: 1. 角度的量值传递系统及圆封闭原则 2. 角度的各种测量方法 3. 圆分度误差的测量和评价 影像法测角的瞄准 方法结构示意图 相对测量 单一角度的相对测量，是将被测角与角度块规或其它角度基准进行比较，用小角度测量仪测得偏差值，小角度测量仪的示值范围较小，一般的为10′，较大的可至30′ ，也有更小的仅为1′ 。 1. 光学自准直仪 组成： 体外反射镜、带有物镜组的光管部件、自准直测微目镜部件。 1.光源 2.自准直分划板 3.物镜 4.反射面 5.测微分划板 6.目镜 平行光管与反射镜即构成自准直光管（准直仪） 自准直法就是通过将被测量转换为反射镜的倾斜量进行测量的，如测量直线度、平面度误差。 a t与 角的关系为: 如图b所示，当反射镜倾斜一 a角时，则按光的反射定律，将在分划板上距O点为t的O’点成象，被测量就是通过t反映出来的。 测量时，使标准角度块和北侧角度块的定位面处于同一位置定位，然后依次对构成标准角和被测角的另一平面瞄准。若瞄准标准角度块时，调整自准直仪光轴的方位使读数为零，则瞄准被测角度块时的读数即为被测角相对于标准角的偏差值。 把圆周进行等分(例如n等分)，从而得到所需要的角度，称为圆分度。度盘、圆光栅盘、圆感应同步器、多面棱体、多齿分度盘等均可做