晶体硅太阳能电池表面PECVD淀积SiN减反射膜工艺应用研究.docVIP

毕 业 论 文 题 目 晶体硅太阳能电池表面PECVD淀积SiN 减反射膜工艺研究 目 录 摘要 ……………………………………………………………………………………………1 绪论 ……………………………………………………………………………………………3 第一章 PECVD淀积氮化硅薄膜的基本原理……………………………………………………6 1.1化学气相淀积技术 ………………………………………………………………………6 1.2 PECVD原理和结构 ………………………………………………………………………6 1.3 PECVD薄膜淀积的微观过程 ……………………………………………………………8 1.4 PECVD淀积氮化硅的性质 ………………………………………………………………9 1.5表面钝化与体钝化 ………………………………………………………………………9 第二章 实验 ……………………………………………………………………………………11 2.1 PECVD设备简介 …………………………………………………………………………11 2.2 PECVD设备操作流程 …………………………………………………………………13 2.3 SiN 减反射膜PECVD淀积工艺流程……………………………………………………13 2.4最佳薄膜厚度和折射率的理论计算