理学院半导体工艺实验室安全工作规范.ppt.pptVIP

西南科技大学理学院光电半导体工艺实验室安全工作规范（一） 为确保国家财产和人身安全，确保实验室安全、正常运转，特制定以下有关安全制度： 一、无尘室（超净间）须知 1. 进入无尘室前，必须知会实验室管理员，并通过基本训练。 2. 进入无尘室严禁吸烟，吃（饮）食，外来杂物（如报章、杂志、铅笔等）不可携入，并严禁嘻闹奔跑及团聚谈天。 3. 进入无尘室前，需在规定位置脱鞋，将鞋置于鞋柜内，外衣置于衣柜内，私人物品置于私人柜内，柜内不可放置食物。 4. 进入无尘室须先在更衣室，将口罩，无尘帽，无尘衣以及鞋套按规定依程序穿戴整齐，再经空气洗尘室（风淋室）洗尘，并踩踏除尘地毯（洗尘室地板上）方得进入。 5. 戴口罩时，应将口罩戴在鼻子之上，以将口鼻孔盖住为原则，以免呼吸时污染芯片。 6. 戴手套时应避免以光手碰触手套的手掌及指尖处（防止钠离子污染），戴上手套后，应将手套的手腕置于衣袖内，以隔绝污染源。 7. 无尘衣等不得携出无尘室，用完放置于规定处所。 8. 不论进入或离开无尘室，须按规定在更衣室脱无尘衣，不可在其它区域进行，尤不可在无尘室内边走边脱。 9. 脱下的无尘衣应吊好，并放于更衣室内上层柜子中；鞋套应放置于吊好的无尘衣下方。 10. 更衣室内小柜中，除了放置无尘衣等规定物品外，不得放置其它物品。 11. 口罩与手套可视状况自行保管或重复使用。 二、仪器使用须知 1.不熟悉仪器使用规则或者操作步骤者，不得单独使用仪器。 2. 开启自动仪器者（如镀膜机），应先检查真空泵的电源、循环水等是否正常，仪器运行过程中必须有人员守护仪器。 3. 扩散炉等有高温的设备开启后，需要有人员守护仪器。 4. 有转动机器（如马达，压缩机，风机等）需注意操作安全，以避免事故发生。 5. 实验过程中，应严格遵守操作规程，爱护仪器设备，随时注意安全，如发生故障，及时报告指导教师或实验室管理员处理，不得私自处理。 6. 实验完毕必须切断所有仪器设备的电源，按照原样整理好实验桌上的仪器设备，保持实验室的清洁，将个人物品杂物带离实验室。 7. 使用易燃易爆气体时，盛装氧、氢等气体的气瓶应与实验室相应设施隔离。 8. 使用电炉、酒精灯等要远离化学易燃物品。 9. 使用电烙铁需避免烫伤，放置时需放在烙铁套内，以防火灾。 10. 注意节约用电，节省实验材料，对浪费严重者取消其实验资格。 西南科技大学理学院光电半导体工艺实验室安全工作规范（二） 三、化学药品使用须知 1. 化学药品的进出须登记，并知会实验室管理员。 2. 不得任意打开酸瓶的盖子，使用后立即锁紧盖子。 3. 稀释酸液时，千万记得加酸于水，绝不可加水于酸。 4. 勿尝任何化学药品或以嗅觉来确定容器内之药品。 5. 不明确容器内为何种药品时，切勿摇动或倒置该容器。 6. 所有化学药品的作业均须在通风良好或排气处完成。 7. 操作各项酸液时须详读各操作规范。 8. 酸类可与碱类共同存于有抽风设备的储柜，但绝不可与有机溶剂存放在一起。 9. 废液处理：废液分酸、碱、氢氟酸、有机等，分开处理并登记，回收桶标示清楚，废液桶内含氢氟酸等酸碱，绝对不可用手直接触碰。 10. 废酸请放入废酸桶，不可任意倾倒，更不可与有机溶液混合。 11. 废弃有机溶液放入有机废液桶内，不可任意倾倒或倒入废酸桶内。 12. 勿任意更换容器内溶液。 13. 欲自行携入的溶液请事先告知实验室管理员，经许可后方可携入；如果欲自行携入之溶液具有危险性时，必须经评估后方可携入，并请于容器上清楚标明容器内容物及保存期限。 14. 漏水或漏酸处理：漏水或漏酸时，为确保安全，绝对不可用手触碰，先将电源总开关与相关阀门关闭，再以无尘布或酸碱吸附器处理，并报备实验室管理员。 四、硅片清洗柜操作须知 1.?? 操作时须依规定，戴上橡皮手套及口罩等防护物。 2.?? 不可将塑料盒放入酸槽或清洗槽中。 3.?? 添加任何溶液前，务必事先确认容器内溶剂方可添加。 4.?? 在清洗柜前工作时应养成良好工作姿势，上身应避免前倾至化学槽及清洗槽上方，一方面可防止危险发生，另一方面亦减少污染几率。 5.?? 清洗柜不操作时，有盖者应随时将盖盖妥，注意将清洗水槽的水开关关上。 6.?? 化学药品溅到衣服、皮肤、脸部、眼睛时，应立即用水冲洗溅伤部位15分钟以上，至皮肤颜色恢复正常为止，并立刻安排急救处理。 7.?? 化学品外泄时应迅速反应，并做适当处理，若有需要撤离时应依实验室管理员指示撤离。 8.?? 清洗柜上使用的橡皮手套，避免触碰各机台及工作台及其它器具等物，一般操作请戴无尘手套。 本暂行规定自发布之日起执行。对违反规定造成实验中止、仪器损坏者，酌情给予