等离子体处理方法对纳米颗粒增强二氧化钛光催化活性的研究教程.pptVIP

Plasma Processing Approach to Molecular Surface Tailoring of Nanoparticles:  Improved Photocatalytic Activity of TiO2 第七组： 孙正亮 s 仇鹏飞 s 聂恒昌 s 高国军 s 韩士奎 sPECVD 等离子体中含有大量由中性粒子电离所产生的正离子和电子，由于电子质量小，在与重离子碰撞时只损失极小一部分能量，而离子从电场中获得的能量则在频繁的碰撞中传给传给中性粒子，所以，在低温等离子体中，电子、离子、中性粒子具有不同的温度。 等离子体增强化学反应，使沉积温度降低，在低真空条件下，气体产生辉光放电形成等离子体。 在低温等离子体中，电子的温度比普通气体分子的平均温度约高10-100倍，使本来需要在高温下进行的化学反应由于反应气体的电子激活而在相当低的温度下进行。 反应气体的化学键在低温下就可以被打断，所产生的活化分子，靠原子基团之间的相互反应，最终沉积生成薄膜。此过程被称为