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一、认识湿法刻蚀设备 1、实物及结构 a、实物 湿法刻蚀设备一般采用的是德国RENA Inoxside 后清洗设备。 一、认识湿法刻蚀设备 1、实物及结构 b、结构 RENA Inoxside 后清洗设备主体分为7个槽体， 槽体根据功能不同分为入料段、湿法刻蚀段、水洗段、碱洗段、水洗段、酸洗段、溢流水洗段、吹干槽。所有槽体的功能控制在操作电脑中完成。其他还有滚轮、排风系统、自动给水补液系统、循环系统、温度控制系统。 一、认识湿法刻蚀设备 1、实物及结构 c、产品特点 有效减少化学药品使用量 高扩展性模块化制程线 拥有完善的过程监控系统和可视化操作界面 优化流程，降低人员劳动强度 通过高可靠进程降低碎片率 自动补充耗料实现稳定过程控制 一、认识湿法刻蚀设备 2、设备维护及保养 主要为各槽体及滚轮碎片的清理和屏幕清洁。 二、认识管式PECVD镀减反膜设备 1、实物及结构 管式PECVD镀减反膜设备主要由工艺管及电阻加热炉、推舟净化系统、气炉系统、电气控制系统、计算机控制系统、真空控制系统6大部分组成。 二、认识管式PECVD镀减反膜设备 二、认识管式PECVD镀减反膜设备 2、设备维护及保养 a、保持工艺管内真空状态、不能残留工艺气体、定期进行清洗 b、经常更换机械泵油 c、定期全面检查 d、环境温度保持20度一下 e、保持排风管道畅通 * 2.2认识晶体硅太阳能电池制造的设备2 机械手 桨 小推车 操作平台 指示灯 炉门 * 桨 LIFT 传送机构 二、认识管式PECVD镀减反膜设备 石墨舟：用于管式PECVD，主要由石墨片及陶瓷棒构成，陶瓷棒起到绝缘作用，石墨片用于导电形成相应的反应磁场；舟内有卡点，每片为三个点，用于固定硅片。 二、认识管式PECVD镀减反膜设备 * 1－CMS模块 2－温差电耦 3－电源连接板 4－温度测量模组 加热装置 二、认识管式PECVD镀减反膜设备 * Stack 4 Stack 3 Stack 2 Stack 1 N2 MFC NH3 MFC SiH4 MFC N2 阀 NH3 阀 SiH4 阀 特气柜 二、认识管式PECVD镀减反膜设备 * 真空泵 真空管路 purge控制面板 真空泵 二、认识管式PECVD镀减反膜设备 谢谢观赏 WPS Office Make Presentation much more fun @WPS官方微博 @kingsoftwps *
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