利用磁增强电晕放电技术防止激光器镜腔污染.pdfVIP

摘 要 目前，在很多领域内，激光都得到了广泛而又充分的应用。对激光器而吉， 由于腔镜污染而影响光束质量的问题是制约激光器技术使用与发展的主要原因。 造成污染的因素很多，其中主要的非本身因素是来自外界环境中的细小气溶胶颗 粒对腔镜的污染。同时，激光发生器所产生的水滴、碱性液滴及碘的气相、液相 混和物，也会通过波纹管和光阑口进入光腔盒。另外，原来存留在腔内的污染颗 粒，也会在激光器工作时形成气溶胶。这些污染颗粒会对腔镜造成污染，从而严 重降低光束的质量，影响其正常的使用。能够在不妨碍激光器正常运行的前题下， 有效防止上述气溶胶颗粒对腔镜的污染，是激光器形成高质量光束的必要保证之 一● 由于激光光线要在发生器内传送，由于光的特性，我们无法使用传统的方 法，如筛网过滤的方法来进行净化。因此，在激光器开机运行的状态下，如何能 同步地消除污染颗粒，并防止后续污染成为了一个新的技术难题。 为了实现激光器镜腔的高度净化，我们采用了磁增强电晕放电技术。 我们设计了一套镜腔防污染系统：该系统在镜腔外部采用磁电晕放电除尘 器并通过风机实现除尘器到荷电器的转变，实现了有污染时净化污染，无污染时 防止污染，在镜腔安装了辅助荷电器和控制电极，用来降低激光器镜片污染物。 磁增强电晕放电是指用小块永磁铁在放电极附近形成一个局部磁场，从而导致自 由电子的拉莫运动，在电晕区中自由电子通过拉莫运动提高空气分子的电离，从 而导致放电电流的增加。从理论上分析了低气压下磁电晕荷电器对细小气溶胶颗 粒荷电机理，及磁场对放电电流、自由电子和离子浓度的影响。 关键词：磁增强电晕放电；气溶胶颗粒荷电；负电晕放电 Abstract tothe arc factorsthataffectthe beam laser,there Regarding many light quality． that aerosolto the mirror Thenon-itselffactor iS the mainly tiny pelletpollutecavity in externalenvironment．Atthesame bubble the time,Thewater-drop，thealkalinity fromthe enterthe andtheidodme mixture phase may gasphase，theliquid generator box the and lightcavitythroughcorrugatedpipe diaphragm．Thepollutionpellet the theaerosolwhenlaserworks． in the originallypreservescavity,also啪form These canformthe tothe mirror,thus pollutionpellets pollutioncavity seriously affectsthe beamthe itis