21-MSA(III)讲义-叶启忠资料.docVIP

量測系統分析(MSA) Measurement System Analysis MSA III (Mar.2003) 內部教育訓練用 (教材系列八) 參考華宇講義 葉啟忠編撰 Jnu.11.2004修訂 1. MSA概念 1.1製程變異是經由檢測而發現，故量測系統之準確度與精確 度必須事先加以研究與分析。 1.2製程變異源概分為人、材料、設備、方法、量測、環境等類別，而這些變異源也將是影響量測系統準確度與精確度的因素。 1.3準確度與精確度 A.準確但不精確 B.精確但不準確 ● ● ● ● ● ● C.不準確也不精確 D.準確且精確 ● ● ● ● ● ● 1.4在未能確定量測系統之準確與精確度適合量測對象前，使用該量測系統所得到的檢測結果或製程能力將不可信賴。 1.5影響量測系統準確度與精確度的因素 因 素 校 驗 使 用 人 實驗室專業人員 管制計畫規劃的使用者 被測物 主規 管制計畫規劃的產品或製程特性 設備 被研究的設備 被研究的設備 方法 國際或國家標準 自定標準且使用者可能未遵守 環境 標準實驗室環境 管制計畫規劃的現場 環境變化造成的熱漲冷縮將可能影響被測物與檢測設 備，且使用者不同其使用方法也可能不同，都可能影響檢 測的信賴度，故檢測設備非但需要校驗且需進行MSA，以 確保檢測的結果的可信度。 例如： A公司 B公司 產品規格 3±0.5mm 3±0.5μm 生產環境 30℃ 30℃ 量規熱漲冷縮總合 +0.0001mm +0.0001mm 熱漲冷縮佔產品規格比率 0.0001mm÷1.0mm =0.01% 0.0001mm÷0.001mm =10% 環境影響檢測結果 小 大 改善 免 溫控於20±3℃ 2. MSA類型 ◎計量值─穩定性研究┬偏性研究─線性研究 └R＆R(無法分再生性與再現性) ├平均值與全距法(無法分人與樣 │ ├圖表分析 本之交互作用) │ └R＆R(TV) │ ├設備變異(EV) │ ├人或方法變異(AV) │ └樣本間變異(PV) └變異數分析法(均可) ◎計數值┬短期法 └長期法 3. 定義 3.1穩定性(Stability)─研究環境變化對量測系統的影響 同一人使用同一量具於不同時間在同 一地點量測同一樣本相同特性所得之 變異。 3.2再現性(Repeatability)─研究設備與樣本受環境影響的變異 同一人使用同一量具量測同一樣本之 相同特性多次所得變異。 3.3再生性(Reproducibility)─研究因人與方法不同所產生