JSM7000F操作程序.docVIP

鍍金機 JEOL JFC-1600 AUTO FINE COATER 儀 器 操 作 手 冊 本實驗室僅提供白金靶材以增加樣品導電性，外觀如圖1所示。鍍金機參數可調範圍：電流分別為10,20,30,40mA，電流越小鍍膜顆粒越細緻，鍍相同厚度時所需時間也越長；時間上限為300s。 鍍膜時間與電流可參考本實驗室鍍金機使用紀錄簿之時間-厚度表，如圖2所示。 圖1. JFC-1600 鍍金機 圖2. 時間-厚度表 鍍金機使用方法如下： 檢查白金靶材是否完整，如有破洞請通知中心人員處理。 將玻璃罩及白金靶蓋放置於防滑墊上。 放入欲鍍樣品於載台上。(嚴禁將實驗室holder拿去鍍金) 將玻璃罩及白金靶蓋蓋上，確定有無密合(如無密合壓力無法下降且會發出噪音)。 開啟電源。 按“DISPLAY”鈕切換至“sec”設定秒數與電流，如圖3所示。 按“MODE”鈕可切換“自動(Auto)或手動(Manual)”模式鍍金，如圖4所示。 圖3 圖4 若使用自動模式，當壓力20Pa時“AUTO”燈會停止閃爍，即可按下“start”進行鍍金。 若使用手動模式，請交替按Flash Gas及Control Gas三個循環，以保持腔體內空氣的潔凈度。等燈不閃爍後及壓力7 Pa以下，方可按下“start”開始進行鍍金。 有兩種方式可判斷鍍金是否完成，一是“start”燈熄滅；二是“DISPLAY”狀態會由“sec”跳回“Pa”。 鍍金完成直接關閉電源即可。為維持清潔，請以酒精擦拭玻璃罩(為防止汙染，請將白金靶蓋放置於防滑墊上，白金面朝上)與更換鋁箔紙，並填寫鍍金機使用紀錄簿。 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page2 本文件及文件之內容屬國科會南區微系統研究中心所有，謹供列印閱讀，未經許可，請勿以任何形式翻製抄襲。 This document is the property of the NSC Southern Region MEMS Research Center. You are very welcome to browse and print out the document. It is extremely illegal to copy any part of this document in any forms without permission! Document Type Title Document No. Edition Editor Date SOP Auto Fine Coater Operations Manual 2 Ching-Yi Huang 2015/10/08