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苏州德龙激光有限公司 Suzhou Delphi Laser Co., Ltd 超短脉冲（皮秒）激光微加工技术—狭缝加工 Ultrashort Pulse (Picosecend) and UV Laser Micromachining Technology 公司简介 苏州德龙激光有限公司由美、澳、中三方投资建立，成立于2005年。公司致力于研发、生产和销售基于紫外激光和超短脉冲激光技术，且应用于激光特种加工（精细钻孔和细微切割等）、LED、LCD以及薄膜太阳能等行业的高端、精密激光加工设备。德龙激光现已荣获“江苏省高新技术企业”等称号，拥有各类无 ????? 德龙激光本着“诚信、敬业、团队、创新”的企业精神，愿与各方同行携手共进，为推动和发展中国的高科技光电产业做出自己应用的贡献！ 尘车间共2000多平方米，并已建立起超短脉冲（皮秒）激光精细微加工、紫外激光精细微加工、薄膜太阳能电池激光加工等各种先进工艺研究实验室。 苏州德龙皮秒激光精细微加工系统 四年多加工系统开发和工艺研究经验（2006年至今） 目前本实验室所涉及的主要应用研究领域 精细钻孔和细微切割（金属、陶瓷、硅、石英、玻璃、聚合物等） 介入型医疗用微器件精密加工（心血管支架） 薄膜太阳能电池加工（CIGS） 光谱仪狭缝（出射狭缝、入射狭缝、狭缝带）加工 皮秒激光精细微加工设备 技术指标 产品型号 DeepPioneer / SoftSweeper 激光波长 1064, 532 and 355nm 输出功率 6W, 10W and 25W @ 1064nm (6W 仅限于SoftSweeper) 脉冲宽度 12ps 重复频率 100kHz to 1MHz 最小加工线宽 3um 最小钻孔直径 30um （更小的孔径需特殊定制） 最大钻孔径深比 1:20 设备基座 大理石基座 激光精细加工样品展示 钢 陶瓷 硅 黄铜 紫铜 聚四氟 乙烯 玻璃 蓝宝石晶圆 钢 玻璃镀铬-去除铬层 激光刻线最小线宽3um 激光加工狭缝优势 目前针对光谱仪的狭缝加工，有三种加工方式： 1、显微镜下手工拼缝 此种加工方式简单，精度控制好，但是产量低，不适合生产批量化。 2、化学蚀刻狭缝 此种工艺主要用化学药品进行狭缝的蚀刻。蚀刻工艺生产成本低，但是加工方式繁琐，对环境污染性大，加工产品一致性不好。 3、激光加工 激光加工是用窄脉宽皮秒激光进行狭缝的加工，加工精度最高可以控制在±1um，加工最小缝宽15um，而且激光加工后无需后续处理，狭缝平行度高，边缘光滑无毛刺，一致性好。 狭缝加工项目 1、入射狭缝加工————最小加工线宽15um， 2、出射狭缝加工————加工线宽有50um和70um两种 3、 狭缝带加工————最长加工570mm长度，共计170缝， 各类缝的加工精度：平行度宽度公差1um，缝的位置精度在5um以内. 4、另外可以提供各类金属的特种钻孔，例如钼片、不锈钢等材料的钻 孔，最小钻孔直径30um，径深比1:20. 金属铣盲孔 陶瓷孔网 20um光谱仪入射单狭缝 狭缝带缝效果图 不锈钢钻孔（45um微孔） 钼片切割 小 结 1）超短脉冲（皮秒）激光微加工技术是一种极具潜力的新型细微 加工方法，能很好地满足高精密领域各种特种加工研究需要； 2）苏州德龙激光拥有雄厚的超短脉冲激光微加工装备制造技术以及 完善的工艺研究条件和工艺经验； 3）随着工业的不断发展进步，超短脉冲激光微加工技术将会被越 来越多的领域所采用，并实现规模性的应用。 德龙激光工艺研究实验室欢迎广大朋友前来做样、加工！ 联系人：朱海峰 电话 [b] 目前针对光谱仪的狭缝加工，有三种加工方式：[/b] 1、[b]显微镜下手工拼缝[/b] 此种加工方式简单，精度控制好，但是产量低，操作人员要求高，不适合生产批量化。 2、[b]化学蚀刻狭缝[/b] 此种工艺主要用化学药品进行狭缝的蚀刻。蚀刻工艺生产成本低，但是加工方式繁琐，对环境污染性大，加工产品一致性不好。 3、[b]激光加工 [/b] 激光加工是用窄脉宽皮秒激光进行狭缝的加工，加工精度最高可以控制在±1um，加工最小缝宽15um，而且激光加工后无需后续处理，狭缝平行度高，边缘光滑无毛刺，一致性好。 德龙激光工艺研究实验室欢迎广大朋友前来做样、加工！ 联系人：朱海峰 qq：765299069 e-mail：hf