光学薄膜材料讲解.pptVIP

基本原理 制造方式 应用情景 光学薄膜泛指在光学器件或光电子元器 件表面用物理化学等方法沉积的、利用光 的干涉现象以改变其光学特性来产生增透、反射、分光、分色、带通或截止等光学现象的各类膜系。它可分为增透膜、高反膜、滤光膜、分光膜、偏振与消偏振膜等。光学薄膜的应用始于20世纪30年代。现代，光学薄膜已广泛用于光学和光电子技术领域，制造各种光学仪器。 基本原理 利用光线的干涉效应，当光线入射于不同折射系数物质所镀成的薄膜，产生某种特殊光学特性。 ? ?? 分类：光学薄膜就其所镀材料之不同，大体可分为金属膜和非金属膜。 ?a.金属膜：主要是作为反射镜和半反射镜用。在各种平面或曲面反射镜，或各式稜镜等，都可依所需镀上Al、Ag、Au、Cu等?各种不同的材料。不同的材料在光谱上有不同的特性。AI的反射率在紫外光、可见光、近红外光有良好的反射率，是镀反射镜最常使用的材料之一。Ag膜在可见光和近红外光部份的反射率比AI膜更高，但因其易氧化而失去光泽，只能短暂的维持高反射率，所以只能用在内层反射用，或另加保护膜。 ?b.非金属膜:用途非常广泛，例如增透膜镜片．单一波长滤光片、长或短波长通过滤光片、热光镜、冷光镜、各种镭射射镜片等，都是利用多种不同的非金属材料，蒸镀在