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先进加工技术结课论文  飞秒激光加工的特点与应用 摘要：飞秒激光加工技术是涉及机械、物理、光学、化学、材料等交叉学科领域的前沿技术，为精密微加工提供了一种全新的革命性技术，可用于制造微纳尺度的机电系统、光电器件、能源器件、传感器、执行器、流体系统、光纤通信系统、生物医疗/诊断仪器、未来单兵系统、纳米卫星、芯片实验室等，在核心电子器件、高端通用芯片和极大规模集成电路制造装备及成套工艺等“十二五”国家科技重大专项方面占有举足轻重的地位，也是目前国际的研究热点之一。本文主要从飞秒激光加工机理和应用方面的特点与优势，对飞秒激光加工技术进行调研分析与论述。 关键字：飞秒激光，超快，加工，应用 Abstract: Femtosecond laser processing technology ，involving mechanics, physics, optics, chemistry , material and other interdisciplinary fields, is an advanced technology and provides a new revolutionary technology for precision micro machining. It can be used in the manufacture of micro and nanoscale electromechanical system, optoelectronic devices, energy devices, sensors, actuators, fluid system, optical fiber communication system, biological, medical / diagnosis instrument, the future soldier system, nano satellite and lab on a chip etc. It has play a decisive role in the core electronic components, high-end general chips and great scale integrated circuit manufacturing equipment and complete sets of technology in the Twelveth five major national science and technology projects, which is currently one of the research hotspots in the international. This article, mainly focused on the characteristics and advantages of femtosecond laser machining mechanism and application research, analyses and discusses the femtosecond laser processing technology. Keywords: femtosecond laser; ultrafast; manufacturer;application. 1. 引言 飞秒（fs ，10-15s）激光是一种以脉冲形式运转的激光，具有极短的脉冲宽度和极高的峰值功率。1981 年，美国贝尔实验室的R. L. Fork及其合作者采用被动锁模原理，在以Rhodamine6G为增益介质的碰撞锁模环形染料激光器中获得脉宽小于100fs 的激光脉冲，这标志着飞秒激光研究的开始。然而，染料激光器存在很多缺点：染料介质要求溶解在有机溶剂中，需要采用喷流方式，结构复杂、难以调试，不便于使用和携带，难以小型化和实用化，且大部分染料有毒性。因此，染料激光器不利于现实的应用和商业化的发展。1991年，英国人D. E. Spence等人采用20mm长的钛宝石晶体作为增益介质，利用氩离子激光器全线泵浦，将SF14 玻璃棱镜对插入激光腔补偿钛宝石的材料色散，利用钛宝石的自锁模，获得了60fs 的激光脉冲输出，首次成功研制了以钛宝石为增益介质的飞秒激光器。以钛宝石激光器为代表的固体激光器以其结构简单、可调协范围宽、输出功率高、性能稳定、寿命长、无污染等优点逐渐取代了染料激光器，并获得了飞速发展。 飞秒激光带来了实验室前所未有的高时间分辨率以及强电场、强磁场、高压强和高温度的极端物理条件，引发了基础科学和技术科学的一场广泛而深刻的变革。 飞秒脉冲具有极高的时间分辨率和空间分辨率，在飞秒时间分辨光谱术，飞秒化学，