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自动化控制基础培训 课程二 气动系统 气动控制系统具有经济、安全可靠、便于操作值特性，在当今半导体设备中应用的非常广泛。 一个典型的气动系统是由方向控制阀、气动执行元件、各种气动辅助元件及气源清净化元件所组成。从压缩空气的产生到使用由以下几个主要部分组成：空气压缩机、清净化元件、气动辅助元件、方向控制元件、执行元件。下表中列出了各部分的典型元器件和作用。 元件类型 典型元器件 作用 清净化元件 空气干燥器 油雾分离器 此装置是清除压缩空气中的水分、油分及杂质等，以得到清洁干燥的压缩空气。 气动辅助元件 空气过滤器 减压阀 速度控制阀 空气过滤器是减少悬浮在压缩空气中的粒子。减压阀用于调节所需的压力。速度控制阀安装在气路中，用于调节气缸进气或者排气速度。 方向控制元件 电磁阀 供给气缸等的压缩空气的流动方向由电磁阀来切换。 执行元件 气缸 摆动气缸 气爪 切换方向控制阀，向执行元件导入压缩空气，以推动执行元件作直线（气缸）及回转（摆动气缸）运动。 一、系统组成 1.电磁阀的机能 方向控制元件，主要是电磁阀，下面就电磁阀的选择、使用和维护以及其它一些问题进行讨论 二、方向控制元件 机能 控制内容 符号 2位置 单线圈 ?断电后，恢复原来位置 如下图1 2位置 双线圈 每一侧面供电时，则阀芯切换至该侧的位置，若断电时，能保持断电前的位置。 如下图2 3位置（中位封闭） 双线