第7章+高真空技术论述.ppt

真空系统零件 阀门 玻璃活栓 带孔的芯子 转动芯子控制气体通路 用封脂密封 小口径 隔膜阀 手轮带动阀杆上下移动 隔膜离开或压紧阀座 真空系统零件 阀门 球阀 两个环状弹性体紧压于一个金属球表面 金属球上有一个大穿孔 手柄转动金属球使穿孔改变方向 O形密封圈密封 蝶阀 阀板的边缘上嵌有O形密封圈 阀杆带动阀板转动 密封圈与阀体紧密接触关闭，900 体积小。结构简单 真空系统零件 阀门 电磁阀 磁力驱动 电磁线圈接通电流，磁力吸引衔铁，带动阀盖，将阀门打开 电磁真空带充气阀 机械泵入口专用阀门 自动放气 真空系统零件 阀门 针阀 微调阀 阀塞为针形，主要用作调节气流量 超高真空阀门 能承受高温(400～450℃)多次烘烤 放气量小，气密性好 重复性好 流导大 无氧铜阀盖，不锈钢阀体 真空系统检漏 真空检漏的重要意义 抽气过程 极限压强dP/dt=0时 Pu=Q/Se 漏气与放气总和Q对有效抽速Se的比值 物理过程：一边抽气，一边不断的漏气，动态平衡 要得到低的极限压强：提高有效抽速、减低漏气量 漏气形成原因 系统微小裂缝：玻璃、金属、金属-玻璃封接、引线封接 肉眼不能直接观察，必须予以找出并修复（更换） 真空系统漏气的判断 抽不到预定的极限真空 材料放气 泵工作不正常 漏气 判断 测量系统压强变化 a: 压强保持P0不变。 既不漏气，也没有放气，泵不正常 b: 开始上升较快，然后饱和。放气 c: 直线上升。漏气，漏气量正比大气压（常数） d:开始上升很快，后来变慢，漏气、放气 漏孔大小 漏孔本质 漏气：在压强差作用下气体流动 气体流动：流量（单位时间流过的气体量） 用通过漏孔的流量表示漏孔大小 漏率定义：在漏孔一端为标准大气压，另一端低于0.01大气压，大气露点低于25C（干燥空气），温度23C，空气通过漏孔的流量 只要漏孔漏率相同，就可以认为完全相同 Torr.L/s Pa.L/s 同一漏孔，对不同气体漏率不同 分子态 He漏率为空气的2.7 漏率大=危害大？ 不确切 漏入一定气体量 引起的压强增长与容器体积大小有关 漏孔的危害是相对的 泵抽速大小 容器体积 容许漏率 极限压强 抽气、漏气（忽略放气）动态平衡 绝对不漏：不可能、不必要 漏孔的漏气足够小，平衡压强小于工作压强 容许漏率：真空系统正常工作所允许的最大漏气量 考虑到材料放气（消耗抽速） 抽速越大、压强越高，容许漏率高 常见真空设备容许漏率 漏率（Torr.L/s) 真 空 设 备 102 10 1 10-1 10-2 10-3 10-4 10-5 10-6 10-7 10-8 10-9 10-10 10-11 简单减压装置、真空过滤 减压干燥、真空浸渍 减压蒸馏、真空干燥 真空蒸馏、真空干燥 真空蒸馏、冷冻干燥 分子蒸馏、真空反应器 连续抽气的汞弧整流器 放射性元素容器、保温瓶 真空冶炼设备 回旋加速器 一般高真空抽气装置 宇宙空间模拟设备、半导体真空设备 超高真空设备（连续抽气） 封闭电真空器件（微波管、电子束管等） 检漏基本原理 检漏目的 确定真空系统是否存在漏气 找出漏孔位置（修复或更换） 估计漏孔大小（必要时） 方法 压强差 示漏气体 利用压强差 原理 漏孔两端存在压强差，就有气体流动 利用气体流动引起的效果，探测漏孔位置 P1P2 气体由内向外流动 P1P2 气体由外向内流动 特点 利用空气，探测简单 灵敏度不够，不能查小漏孔 示漏气体和探测器 原理 Pt丝正离子发射-卤素剧烈增长：卤素检漏器 放射性元素-闪烁计数器：放射性元素检漏 质谱计-特种气体：He质谱检漏 探测器的响应 响应 示漏气体对准漏孔，到探测器出现反应以及随后变化过程 立刻响应 对上漏孔迅速反应：火花检漏计 快速响应 反应逐步升高，较快稳定：卤素检漏 响应慢但稳定 需要很长时间稳定：静态升压、氨检漏 探查法响应 I:示漏气体未对准漏孔，大气漏入，压强稳定 II:示漏气体对准漏孔，空气分压下降，示漏气体分压上升，总压强上升 III:示漏气体离开漏孔，空气漏入，压强恢复 示漏气体分压强建立需要足够的时间 检漏效果与真空系统相关：抽速影响 检漏器的性能指标 能检出尽可能小的漏孔 反应迅速（2~3s内反应） 最好既能找出漏孔，又能确定漏率 稳定性好 所用示漏物质空气中含量要小，价廉，无毒，环保 检漏范围宽 结构简单，便于维护 检漏技术 压力检漏法 在被检容器内充气，从漏孔泄出，观察漏孔处 打气检漏法 打气（几个大气压） 进入液体中（水），由冒泡确定漏孔位置 1atmN2－水，肉眼观察10-4Torr.L/s漏孔 H2－表面张力小，粘度小液体，显微镜观察 检漏技术 压力检漏法 卤素检漏法 Pt在高温(850-950C)产生正离子发射 遇到卤素气体发