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第三节 透射电镜分辨率和放大倍数的测定 (1)分辨率 是TEM的最主要性能指标,表征电镜显示亚显微组织、结构细节的能力。 点分辨率:能分辨两点之间的最短距离。 (1)分辨率 是TEM的最主要性能指标,表征电镜显示亚显微组织、结构细节的能力。 线分辨率:能分辨两条线之间的最短距离,通过拍摄已知晶体的晶格象测定,又称晶格分辨率。 晶格分辨率测定金(220)、(200)晶格像 第三节 透射电镜分辨率和放大倍数的测定 (2)放大倍数 指电子图像对于所观察试样区的线性放大率。 目前高性能TEM的M范围为80-100万倍。 不仅考虑最高和最低放大倍数,还要考虑是否覆盖低倍到高倍的整个范围。 电镜不能将其所分辨的细节放大到人眼可辨认程度。对细节观察是用电镜放大在荧光屏上成像,经附带的立体显微镜进行聚焦和观察。 将仪器的最小可分辨距离放大到人眼可分辨距离所需的放大倍数称为有效放大倍数。一般仪器的最大倍数稍大于有效放大倍数。 说明 人眼分辨本领约0.2mm,光学显微镜(OM)约0.2μm。 把0.2μm放大到0.2mm的M是1000倍,是有效放大倍数。 OM分辨率在0.2μm时,有效M是1000倍。 OM的M可以做的更高,但高出部分对提高分辨率没有贡献,仅是让人眼观察舒服。 (2)放大倍数 测定晶格分辨率常用晶体 晶格分辨率测定金(220)、(200)晶格像 (3)加速电压 指电子枪阳极相对于阴极灯丝的电压,决定了发射的电子的λ和E。 电压越高,电子束对样品的穿透能力越强(厚试样)、分辨率越高、对试样的辐射损伤越小。 普通TEM的最高V一般为100kV和200kV,通常所说的V是指可达到的最高加速电压。 透射电镜中有哪些主要光阑? 分别安装在什么位置? 其作用如何? 答:主要有三种光阑:①聚光镜光阑。在双聚光镜系统中,该光阑装在第二聚光镜下方。作用:限制照明孔径角。②物镜光阑。安装在物镜后焦面。作用: 提高像衬度;减小孔径角,从而减小像差;进行暗场成像。③选区光阑:放在物镜的像平面位置。作用: 对样品进行微区衍射分析。 2. 透射电镜主要由几大系统构成?各系统之间关系如何? 答:四大系统:电子光学系统,真空系统,供电控制系统,附加仪器系统。 其中电子光学系统是其核心。其他系统为辅助系统。 ? 电子光学应用的最典型例子是TEM ,它是观察和分析材料的形貌、组织和结构的有效工具。 CCD是电荷耦合装置的英文缩写,即Charge Coupied Device,是摄像机的成像系统,主要用途就是通过镜头把所摄物体轮廓、光线、色彩的电荷采集在器件上,再经过分色滤色将光源转换成电子信号,传输到影像处理芯片上进行图像和色彩的还原,CCD尺寸越大,像素就越高,成像的质量就越好。 CCD是电荷耦合装置的英文缩写,即Charge Coupied Device,是摄像机的成像系统,主要用途就是通过镜头把所摄物体轮廓、光线、色彩的电荷采集在器件上,再经过分色滤色将光源转换成电子信号,传输到影像处理芯片上进行图像和色彩的还原,CCD尺寸越大,像素就越高,成像的质量就越好。 第九章 透射电子显微镜 Transmission electron microscope 第一节 透射电子显微镜的结构和成像原理 第二节 透射电镜的主要性能参数及测定 第三节 样品的制备 第一节 透射电子显微镜的结构和成像原理 (a) (b) 以波长极端短的电子束作为照明源,用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。 由电子光学系统、电源与控制系统及真空系统三部分组成。 电子光学系统通常称镜筒,是TEM的核心,它的光路原理与透射光学显微镜十分相似。其分为三部分:照明系统、成像系统和观察记录系统。 一、照明系统 (1)电子枪 电子枪是TEM的电子源。 常用的是热阴极三极电子枪,由发夹形钨丝阴极、阳极和栅极组成。 ① 阴极,又称灯丝,一般由0.03-0.1mm钨丝作成V或Y形状。 ② 阳极 加速从阴极发射出的电子。 为了操作安全,一般是阳极接地,阴极带有负高压。 -50-200kV 一、照明系统 (1)电子枪 电子枪是TEM的电子源。 常用的是热阴极三极电子枪,由发夹形钨丝阴极、阳极和栅极组成。 ③ 栅极 会聚电子束;控制电子束电流大小,调节像的亮度。 电子枪的重要性仅次于物镜。决定像的亮度、图像稳定度和穿透样品的能力。 为使阴极电场集中,将尖端的曲率半径之城小于0.1微米的尖锐形状,这种阴极就称为发射极。 场发射电子枪 在高性能分析性透射电镜中多采用场发射电子枪(FEG),可分为冷阴极FEG和热阴极FEG。 在金属表面加一强电场,金属便面的势垒会变浅,由于隧道效应,金属内部电子将穿过势垒从其表面发射出来,这种现象为场发射。 一、照明系统 (2) 聚光镜 作用:用来会聚电子枪射
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