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(4 )干涉条纹的移动 例 1 波长为680 nm的平行光照射到L=12 cm长的两块玻璃片上,两玻璃片的一边相互接触 ,另一边被厚度D=0.048 mm的纸片隔开. 试问在这12 cm长度内会呈现多少条暗条纹 ? 解 共有142条暗纹 (2)测膜厚 (1)干涉膨胀仪 劈尖干涉的应用 (3)检验光学元件表面的平整度 空气 (4)测细丝的直径 例 在半导体元件生产中,为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度,将该膜的一端腐蚀成劈尖状,已知SiO2 的折射率n =1.46,用波长? =5893埃的钠光照射后,观察到劈尖上出现9条暗纹,且第9条在劈尖斜坡上端点M处,Si的折射率为3.42。试求SiO2薄膜的厚度。 Si SiO2 O M 解:由暗纹条件 e = (2k+1)? /4n ?= 2ne = (2k+1)? /2 (k=0,1,2…) 知,第9条暗纹对应于k=8,代入上式得 = 1.72(?m) 所以SiO2薄膜的厚度为1.72 ?m。 例 为了测量金属细丝的直径,把金属丝夹在两块平玻璃之间,形成劈尖,如图所示,如用单色光垂直照射 ,就得到等厚干涉条纹。测出干涉条纹的间距,就可以算出金属丝的直径。某次的测量结果为:单色光的波长? =589.3nm金属丝与劈间顶点间的距离L=28.880mm,30条明纹间得距离为4.295mm,求金属丝的直径D? L D 解 相邻两条明纹间的间距 其间空气层的厚度相差为?/2于是 其中?为劈间尖的交角,因为? 很小,所以 代入数据得 4.295mm L D 牛顿环光程差的计算 牛顿环干涉条纹的特征 牛顿环的应用 牛顿环实验装置及光路 二、牛顿环 1)牛顿环装置及光路 平凸透镜与平晶之间形成劈形薄膜层;单色平行光垂直入射,透镜下表面反射的光与平晶的上表面所反射的光发生干涉 牛顿环干涉图样 显微镜 S L M 半透半反镜 T 2)牛顿环光程差的计算 透镜下表面反射的光与平晶的上表面所反射的光之间的光程差: e A 1 2 ? = 2e + ? /2 3)牛顿环干涉条纹的特征 r R e 0 由几何关系可知 (R – e)2+r2=R2 R2 - 2Re + e2 + r2=R2 e = r2/2R 干涉条纹的半径: k=0,r =0 中心是暗斑 …… 牛顿环干涉条纹是一系列明暗相间的同心圆环。 相邻暗环的间距 内疏外密 4)牛顿环的应用 依据:暗环公式 测透镜球面的半径R : 已知?, 测 m、rk+m、rk,可得R 。 测波长λ: 已知R,测出m 、 rk+m、rk, 可得λ。 检验透镜球表面质量 工 件 标 准 件 例:在空气牛顿环中,用波长为 的单色光垂直入射,测得第k个暗环半径为5.63mm,第k+5个暗环半径为7.96mm。求曲率半径R。 解:空气牛顿环第k个暗环半径为 第k+5个暗环半径为 注意:半波损失需具体问题具体分析. §7.5 迈克尔孙干涉仪 迈克尔逊干涉仪(英文:Michelson interferometer) 是光学干涉仪中最常见的一种,其发明者是美国物理学 家阿尔伯特·亚伯拉罕·迈克耳孙。 迈克尔逊干涉仪在历史上曾起了 很重要的作用,现代科技中多种 干涉仪都从它衍生而来。 原理:利用振幅分割获得两束相 干光,从而获得干涉花样 1. 仪器结构、光路、工作原理 单色光源 反射镜 反射镜 与 成 角 补偿板 分光板 移动导轨 光程差 工作原理图 相干光光程差 主要由M1和M’2 的距离差决定. 1)当 M1垂直于 M2 时,M1和M’2 严格地相互平行, 在视场中干涉条 纹将为环形的等 倾条纹。 2)当M1不垂直 于 M2 时,可形 成劈尖型等厚干 涉条纹. 工作原理图 说明: 每当光程差变化一个波长,干涉条纹平移过一条; 或者说,每当M1向前或向后移动 的距离时, 就可看到干涉条纹平移过一条。 2. 迈克耳孙干涉仪的主要特性 (1)两相干光束完全分开; (2)两光束的光程差可调. 两种方法: I、移动反射镜 M1移动的距离 移动过条纹的数目 当M1和M’2 之间距离变大时 ,圆形干涉条纹从中心一个 个长出,并向外扩张, 干涉条纹变密;距离变小时,圆形干 涉条纹一个个向中心缩进, 干涉条纹变
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