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薄膜生长的微观结构研究 《薄膜物理》 薄膜生长过程中的微观结构研究 蒋励 参考文献 《薄膜物理》 目录 思路 引 言 引言 引言 引言 引言 薄 膜 形 成 过程 薄膜的形成过程 薄膜的形成过程 薄膜的形成过程 薄膜的形成过程 薄膜的形成过程 薄膜的形成过程 生长中缺陷的掺合 薄膜的形成过程 透射电子显微镜TEM 透射电子显微镜 透射电子显微镜TEM 透射电子显微镜TEM 扫描透射电子显微镜STEM 扫描透射电子显微镜STEM 扫描透射电子显微镜STEM 扫描电子显微镜SEM 扫描电子显微镜 扫描电子显微镜 扫描电子显微镜 反射电子显微镜REM 反射电子显微镜 反射电子显微镜 反射电子显微镜 场电子显微镜FIM 场离子显微镜 场离子显微镜 场离子显微镜 场离子显微镜 场离子显微镜 场离子显微镜 场离子显微镜 扫描隧道显微镜STM 扫描隧道显微镜 扫描隧道显微镜 扫描隧道显微镜 扫描隧道显微镜 扫描隧道显微镜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜AFM 原子力显微镜 原子力显微镜 原子力显微镜 原 理 使用范围 对样品表面缺陷的微观结构研究 优 势 直观分析表面形貌，研究表面台阶和重构 对样品表面缺陷的微观结构研究 电子衍射 原 理 使用范围 表面单个原子的化学成分，研究样品表面原子结构和原子运动行为 被测样品必须为针状 正高压作用下发射离子 局 限 主要应用 1 研究空位和自填隙原子 2晶粒间的结构和形貌 3由于成核和生长产生的相分离 4有序-无序的变化 2晶粒间的结构和形貌 3由于成核和生长产生的相分离 4有序-无序的变化 原 理 使用范围 利用量子力学的隧道效应测物质表面结构的非光学显微镜 半导体，金属表面原子尺寸的微观结构 优 势 观察和定位单个原子，比一般原子力显微镜分辨率高 低温下（4K）可利用探针尖端精确操纵原子 加拿大多伦多大学 化学家杨申云 12个溴原子通过分子的自我组合排成一个圆圈 原 理 使用范围 扫描隧道显微镜 针尖轮廓曲线仪 绝缘体，半导体，导体表面原子尺寸的微观结构 共51页 * 作者:薛增泉页数:485?? 出版日期:1991年09月第1版 引 言 薄膜的形成过程 生长中缺陷的掺和 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 反射电镜研究表面台阶的重构 场离子显微镜研究表面原子的扩散徒动和脱附 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 薄膜特性 直接观测手段 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 反射电镜 场离子显微镜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 薄膜的形成过程 生长中缺陷的掺和 表面台阶及重构 表面原子 扩散徒动和脱附 微观 薄 膜 定 义 制 备 方 法 薄 膜 分 类 制 备 规 律 及 原 则 薄 膜 定 义 在厚度方向（Z）为10A~几十um厚， 而X，Y方向无限延长的固体材料 薄 膜 分 类—结构 单晶膜 多晶膜 非晶膜 含金属颗粒膜 制 备 方 法 1。块体材料切割或解离。Eg：云母，Si 2。在基底上镀制薄膜 气相液相沉积 真空蒸积 溅射沉积 严格控制的外延生长 制备规律及原则 制备影响条件 制备原则 适合的基底 沉积速率 温度 向自由能更低，更稳定方向转化 临界核形成 粒子 长大 形成迷津结构 连续薄膜 16A 16A 43A 16A 33A 190A 55A 68A 16A分散粒子膜 33A岛长大接合 43-55A迷津结构 68-190A连续薄膜 临界核的形成 临界核（2-3原子）过小，不易观测 岛的长大与结合 Pd蒸镀在MgO(111),(100)面上的TEM形貌图 A B C 暴露空气 暴露空气 真空高温 (111) (100) 岛会移动并连接在一起 高温会加速岛的结合 岛的长大与结合 1大颗粒搭桥 2小颗粒包围大颗粒 3滚雪球 运 动 模 式 岛的长大与结合 生长中的缺陷的掺合 基底影响薄膜中缺陷的类型和密度 1.基底台阶结构会传递给薄膜 2.杂质和表面污染会加剧薄膜缺陷 透射电子 显微镜 TEM 扫描透射 电子显微镜 STEM 适合薄膜 结构研究 透射电子 显微镜 TEM 原 理 使用范围 较厚样品 优 势 配有X射线检测和能量损失谱 干涉 扫描透射 电子显微镜 STEM 原 理 使用范围 更厚样品（透镜2-3倍）和低衬度样品 优 势 消色差，较高的图像分辨率 干涉 原 理 使用范围 块体和薄膜样品的微观结构 优 势 配有X射线普，俄歇电子谱 分辨率高 电子束作光栅扫描 303K 273K