半导体传感器第一章讲课.pptVIP

物理型传感器又可以分为结构型传感器和物性型传感器两种。 ①结构型传感器以结构（形状、尺寸等）为基础，利用物理规律来转换被测量。如电容式压力传感器（工作时两极间距发生变化）。结构型传感器强调要依靠精密设计制作的结构才能正常工作。 ②物性型传感器利用某些功能材料本身所具有的内在特性及效应来转换被测量。所以物性型传感器主要依靠材料本身的物理特性、物理效应来实现。 ⑵化学型传感器 利用电化学反应原理，把无机或有机化学的物质成分、浓度等转换为电信号的传感器。最常用的是离子敏传感器，如离子选择电极，核心部分是离子选择性敏感膜。 ⑶生物型传感器 这是利用生物活性物质的选择性来识别和测定生物化学物质的传感器。如免疫传感器。 2.按工作原理分类 这种分类方法是以传感器的工作原理（即输入与输出之间的转换关系）作为分类的依据，如应变式、压阻式、压电式、电容式、霍尔传感器等等，通常能从其名称揣测该类传感器的工作原理，有利于传感器专业工作者从原理与设计上作归纳性的分析研究。 3. 按被测量对象分类 按传感器的被测量对象——输入信号分类，能够很方便地表示传感器的功能，便于用户选择。如温度传感器、压力传感器、气体传感器等等名称。这种分类方法还涉及基本量和派生量的概念，例如力派生出重力、应力、力矩等；位移派生出长度、厚度、旋转角等；速度派生出振动、流量、转速、角振动等；加速度派生出冲击、扭矩、转动惯量等；时间派生出周期、计数、统计分布；温度派生热容量、涡流；光派生出光谱分布等。 4. 按外加电源分类——有源和无源 ⑴ 有源传感器（能量转换型传感器）—— 能将非电量直接转换成电信号，所以有时被成为“换能器”。例如压电式（超声波换能器）、热电式（热电偶）、光电式（光电池）等。 ⑵ 无源传感器（能量控制型传感器）—— 不能将被测量直接转换成电学量，由辅助电源供给电能，被测量对该电能起能量控制作用，如电容式传感器、压阻式传感器等。 5.按构成传感器的功能材料分类 按构成传感器的功能材料不同，可将传感器分为半导体传感器、陶瓷传感器、光纤传感器、高分子薄膜传感器等等。 6.按某种高新技术命名的传感器分类 根据某种高新技术命名，如集成传感器、智能传感器、机器人传感器、仿生传感器等。 §1.2 传感器的特性参数 传感器输出与输入关系通常是以数学模型来体现，理论上当输入信号为静态量、准静态量或动态量时，可以用带随机变量的非线性微分方程作为模型。由于输入信号状态不同，传感器所表现的输出特性也不同，所以实际上，传感器的静、动态特性可以分开来研究。 传感器的特性可分为静态特性和动态特性两大类。当输入量为常量，或变化极慢时（即输入量为静态或准静态信号），这一关系称为静态特性；当输入量随时间较快地变化时，这一关系称为动态特性。 由于不同性质的传感器有不同的内在参数关系（即有不同的数学模型），它们的静、动态两个数学模型也表现出不同的特点。为了研究各种传感器的共性，这里我们提出传感器的静、动态数学模型的一般形式，然后根据各种传感器的不同特性，再作以具体条件的简化后给予讨论。 应该指出的是，一个高性能的传感器必须具备良好的静态和动态特性，这样才能完成无失真的信息转换。 一、传感器静态特性的方程表示方法 若不考虑滞后、蠕变的条件下，传感器静态模型的一般形式在数学理论上可以用n次方代数方程来表示，即： 式中：y—输出量；x—输入量；a0—零位输出； a1—线性灵敏度； a2、a3、 … 、 an—非线性项的待定常数，可正可负。各项系数不同，决定了不同传感器特性曲线的具体形式。 1.2.1 传感器的静态特性 y=a0+a1x+a2x2+a3x3+…+anxn 理想和非理想的线性特性差异 校准试验 1.2.1 传感器的静态特性 二、传感器的主要静态性能指标 1．线性度 为了标定和数据处理的方便，总希望输出和输入之间是线性关系，于是采用硬软件补偿来进行线性化处理，这样就使得输出不可能丝毫不差的反映被测量的变化，总是存在一定的误差，即使实际是线性关系的特性，测量的线性关系也并不完全与其重合，而常用一条拟合直线近似代表实际的特性曲线。 线性度的定义：传感器的实测输入输出特性曲线与理论拟合直线（理想输入输出特性曲线）的最大偏差对传感器满量程输出之比的百分数表示。线性度也成为“非线性误差”或“非线性度”。 δ= △max A ×100% 最大偏差