半导体光电基础TRY讲课.pptVIP

半导体激光器概述 * ////\\\\ 科学发现：自然界已存在，人们自觉或不自觉发现以后再产生理论，并加以证明和利用，如万有引力、电磁等； 科学发现：自然界（至少地球上的自然界）并不存在的事物，但人们先从理论上推导、预测，然后再通过努力加以证明和实现，如相对论、核衰变、核聚变等。 激光(Laser)（镭射） ---钱学森1963年提出 (Light Amplication by Stimulated Emission of Radiation) 激光视20世纪以来，继原子能、计算机、半导体之后，人类的又一重大发明 普通光源---自发辐射 激光光源----受激辐射 激光器的发展历程 激光发明的理论基础可以追溯到1917年，著名的物理学家爱因斯坦在研究光辐射与原子的相互作用的时候发现，除了受激吸收和自发辐射跃迁过程外，还存在受激辐射跃迁过程。 1952年 美国马里兰大学的韦伯开始应用以上理论放大电磁波 一个尺度和波长可比拟的封闭的谐振腔； 利用自由电子与电磁场相互作用实现电磁波的放大和谐振。 1954年 美国汤斯(C.H.Towns)、苏联的巴索夫(N.G.Basov)和普罗霍罗夫(A.M.Prokhorov)抛弃了利用自由电子与电磁场的相互作用实现了电磁波的放大和谐振，利用原子或分子中的束缚电子与电磁场的相互作用来放大电磁波。 1958年 汤斯和肖洛(Arthur L.Schawlow)抛弃了一个尺度和波长可比拟的封闭的谐振腔，提出了利用尺度远大于波长的开放式光谐振腔，实现了激光器的新思想。布隆伯根(Nicolaas Bloembergen)提出了利用光泵甫三能级原子系统实现原子数反转分布的新构想。 1960年7月，世界第一台红宝石固态激光器问世，标志了激光技术的诞生 美国休斯公司实验室梅曼演示 波长为694.3nm的激光 1963年建立里激光的半经典理论。 对激光的频率特性和功率特性进行了比较完善的探讨。 1970年研制成了准分子激光器。 1966年研制成固体锁模激光器获得超短脉冲。 1965年实现了铌酸锂光学参量振荡器，借助 半经典理论预言了锁模效应的存在。 1964年研制 氩离子(Ar+)离子气体激光器 二氧化碳气体激光器 化学激光器（HF氟化氢） 掺铷的钇铝石固体激光器 1978年出现了世界上第一只半导体量子阱激光器(QWL) 随着半导体物理学以及晶体管的发明，科学家在50年代设想发明半导体激光器，60年代早期，列别捷夫物理研究所的尼古拉·巴索夫在理论方面做出杰出贡献。 20世纪60年代初期研制出同质结型激光器。 1969年首先研制出单异质结构激光器(SHLD)，但其仍不能在室温下连续工作。 1970年，研制出室温连续工作的双异质结(GaAs-AsGa)激光器。 随着MBE技术的发展，1978年研制出第一只半导体量子阱激光器(QWL) 从20世纪70年代末开始，半导体激光器明显向着两个方向发展，一类是以传递信息为目的的信息型激光器.另一类是以提高光功率为目的的功率型激光器. 在泵浦固体激光器等应用的推动下，高功率半导体激光器(连续输出功率在100以上，脉冲输出功率在5W以上，均可称之谓高功率半导体激光器)在20世纪90年代取得了突破性进展，其标志是半导体激光器的输出功率显著增加，国外千瓦级的高功率半导体激光器已经商品化，国内样品器件输出已达到600W。 按照工作物质的不同，激光器可分为固体激光器、液体激光器、半导体激光器和气体激光器等种类。 与其他激光器相比，半导体激光器具有体积小，效率高、结构简单坚固、可直接调制等优点。 半导体激光器及其基本结构 半导体受激发射的条件 激光器的发光是需要外界诱发促使载流子复合的受激发射，发射的是同频率、同位相、同偏振、同方向的相干光，其单色性、方向性和亮度都比LED好得多。 半导体激光器靠注入载流子工作，发生激光需要三个基本条件： 3）要满足一定的阈值条件，以使光子增益等于或大于光子 损耗。 2）要有一个合适的谐振腔，起反馈作用，使激射光子增生， 从而产生激光振荡。 1）要产生足够的粒子数反转分布，即高能态粒子数足够地 大于低能态的粒子数； *