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三种类型 利用半导体材料的体电阻作为粘贴式应变片 在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成扩散电阻 特点： ①灵敏度非常高，有时传感器的输出不需放大可直接用于测量； ②分辨率高，例如测量压力时可测出10～20Pa的微压； ③测量元件的有效面积可做得很小，故频率响应高； ④ 其最大的缺点是温度误差大，故需温度补偿或恒温条件下使用。 用真空蒸镀的方法将半导体簿膜直接蒸镀在传感器的弹性元件上 第四章 、工程测试信号的获取 如图是一个采用单晶硅作成的悬臂梁式弹性元件，并且采用平面扩散工艺技术，在它上面形成四个性能一致的电阻，构成全桥；在梁的自由端连接上敏感质量块，组成悬臂梁应变式加速度传感器。 第四章 、工程测试信号的获取 ZP5100压力变送器是专为解决油田钻井、测井中，泥浆宜堵塞引压孔、强振动等恶劣环境而特殊设计制造的。该变送器采用离子束溅射薄膜压力传感器作为敏感元件，和电子线路做成一体化结构，输出4-20mA标准信号。该型号为全不锈钢圆柱型平膜结构，使用方便。特别适用于油田测井、制药、纺织等粘稠宜堵、强振动的工业现场。。 第四章 、工程测试信号的获取 大连交通大学 第四章 、工程测试信号的获取 本章学习要求： 1.了解传感器的分类　　　 2.掌握常用传感器测量原理 3.了解传感器测量电路 工程测试与信号分析 4.1 传感器基本概念 1. 传感器定义 直接感受被测量，并按一定规律将其转换成易于测量、传输和处理的信号的装置或器件。 第四章 、工程测试信号的获取 例：自动控制门 自动门红外感应器 物理量 电量 目前，传感器转换后的信号大多为电信号。因而从狭义上讲，传感器是把外界输入的非电信号转换成电信号的装置。 第四章 、工程测试信号的获取 2. 传感器的构成 第四章 、工程测试信号的获取 敏感元件：负责感受被测量的信息 转换元件：将感受的被测量转换为电信号输出 信号调节转换电路： 将微弱的电信号放大和转换为易于传输、处理、记录和显示的电信号（放大器、电桥、振荡器等） 第四章 、工程测试信号的获取 例：压力传感器 转换元件 敏感元件 3. 传感器的分类 1)按被测物理量分类 常见的被测物理量 机械量:长度,厚度,位移,速度,加速度, 旋转角,转数,质量,重量,力, 压力,真空度,力矩,风速,流速, 流量; 声: 声压,噪声. 磁: 磁通,磁场. 温度: 温度,热量,比热. 光： 亮度，色彩 第四章 、工程测试信号的获取 机械式,电气式,光学式,流体式等. 2)按工作的物理基础分类: 第四章 、工程测试信号的获取 能量转换型:直接由被测对象输入能量使其工作. 例如:热电偶, 磁电式传感器。 能量控制型:从外部供给能量并由被测量控制外部 供给能量的变化.例如:电阻应变片. 3）按敏感元件与被测对象之间的能量关系: 第四章 、工程测试信号的获取 4)按信号变换特征 物性型:依靠敏感元件材料本身物理性质的变化来实现信号变换.如:水银温度计. 结构型:依靠传感器结构参数的变化实现信号转变. 例如:电容式和电感式传感器. 第四章 、工程测试信号的获取 (1 利用物理现象、化学反应和生物效应设计制作各种用途的传感器 4. 传感器的发展 (2传感器向高精度、一体化、小型化的方向发展。 (3 发展带有微处理器并兼有检测和信息处理功能的智能型传感器。 第四章 、工程测试信号的获取 第四章 、工程测试信号的获取 智能压力网络传感器 振动网络传感器 内装IC加速度传感器 4.2 电阻式传感器 电阻式传感器是把被测量转换为电阻变化的一种传感器,按工作的原理可分为:变阻器式、电阻应变式、热敏式、光敏式等。 一、 变阻器式传感器 (1)变阻器式传感器原理及特性 第四章 、工程测试信号的获取 等效电路分析: L-变阻器总长 x-电刷移动量 R-总电阻 Rx电刷电阻 x L E E1 L x = R Rx = E E1 x=L*E1 / E=f(E1) 无负载效应 第四章 、工程测试信号的获取 (2) 变阻器式传感器的性能参数: 1)线性; 4)移动或旋转角度范围; 2) 分辨率; 5)电阻温度系数; 3)整个电阻值的偏差; 6)寿命; (3)变阻器式传感器的分类 单圈电位器 多圈电位器 直线滑动式电位器 第四章 、工程测试信号的获取 变阻器式传感器产品 第四章 、工程测试信号的获取 例：重量的自动检测--配料设备 比较 重量设定 原材料 原理：弹簧-力-位移 -电位