莫尔条纹测试技术精讲.pptVIP

* * 莫尔形貌（等高线）测试技术 分类： 实体光栅照射法（简称照射型）是将试件光栅和基准光栅合一，测量时观察者（或摄像机）透过光栅观察其空间阴影；实体光栅投影法（简称投影型）是将空间变形像栅成像在基准光栅面上，以产生莫尔轮廓条纹。 除了照射型和投影型两种基本型外，又派生出所谓光栅全息型、光栅衍射型和全景莫尔型等。这些方法在原理和光路布局上并无实质性变化，但扩大了莫尔法的性能和适用范围。 莫尔条纹测试技术 * 目 录 莫尔条纹技术简介 莫尔条纹技术基础 莫尔形貌（等高线）测试技术 莫尔测试技术应用 * * * 令人惊奇的条纹动画 * * 莫尔条纹技术简介 引言： 莫尔（Moire）一词在法文中的原意是表示水波纹或波状花纹。当薄的两层丝绸重叠在一起并作相对运动时，则形成一种漂动的水波型花样，当时就将这种有趣的花样叫做莫尔条纹。 * * 莫尔条纹技术简介 引言： 一般来说，任何两组（或多组）有一定排列规律的几何线族的叠合，均能产生按新规律分布的莫尔条纹图案。 1874年英国物理学家瑞利首次将莫尔图案作为一种计测手段，根据条纹形态来评价光栅尺各线纹间的间隔均匀性，从而开创了莫尔测试技术。随着光刻技术和光电子技术水平的提高，莫尔技术获得较快发展，在位移测试、数字控制、伺服跟踪、运动比较等方面有广泛的应用。 光栅尺位移传感器 * * 莫尔条纹技术基础 在莫尔测试技术中，通常利用两块光栅（称做光栅付）或光栅的两个像的重叠产生莫尔条纹，以获取各种被测量的信息。 长光栅莫尔条纹 播放动画 长光栅光闸莫尔条纹 播放动画 播放中…… 圆弧莫尔条纹 单击准备演示 播放动画 光闸莫尔条纹 播放动画 播放中…… 环形莫尔条纹 播放动画 播放中…… 单击准备演示 单击准备演示 辐射形莫尔条纹 播放动画 * * 莫尔条纹技术基础 在莫尔测试技术中，通常利用两块光栅（称做光栅付）或光栅的两个像的重叠产生莫尔条纹，以获取各种被测量的信息。 莫尔条纹的形成，实质是光通过光栅时光的衍射和干涉的结果。在不同场合，可以有多种解释方式。 ①几何光学原理 如果所用的光源为非相干光源，光栅为节距较大的黑白光栅，光栅付栅线面之间间隙较小时，通常可以按照光是直线传播的几何光学原理，利用光栅栅线之间的遮光效应来解释莫尔条纹的形成，并推导出光栅付结构参数与莫尔条纹几何图形的关系。 * * 莫尔条纹技术基础 ①几何光学原理 N=0 N=1 N= -1 N=0 N=1 a) 节距不同 b) 栅线方向不同 两粗线光栅重叠形成莫尔条纹的原理 0 N′= 4 3 2 1 * * 莫尔条纹技术基础 ①几何光学原理 X 莫尔条纹的几何关系 P1 P2 W Y a) Y θ A B D C E b) 实际应用中，两栅的节距往往相同，即P1=P2=P。 光学放大作用。例如，θ=0.004弧度时（即14′），W=250P，节距放大倍率达250倍。 莫尔条纹光学放大作用举例 有一直线光栅，每毫米刻线数为50，主光栅与指示光栅的夹角? =1.8?，则： 分辨力? =栅距W =1mm/50=0.02mm=20?m （由于栅距很小，因此无法观察光强的变化） 莫尔条纹的宽度是栅距的32倍： L ≈W/θ = 0.02mm/（1.8? *3.14/180? ） = 0.02mm/0.0314 = 0.637mm 由于较大，因此可以用小面积的光电池“观察”莫尔条纹光强的变化。 * * 莫尔条纹技术基础 ②衍射原理 单纯利用几何光学原理，不可能说明许多在莫尔测量技术中出现的现象。例如: 在使用相位光栅时，这种光栅处处透光，它对入射光波的作用仅仅是对其相位进行调制，然而，利用相位光栅亦能产生莫尔条纹，这就不可能用栅线的遮光作用予以说明。 当使用细节距光栅时，在普通照明条件下就很容易观察到彩色衍射条纹。两块细节距光栅叠合形成的莫尔条纹中，往往会出现暗弱的次级条纹，这些现象必须应用衍射原理才能解释。 在莫尔测量技术中用到的光栅自成像现象也是无法用几何光学原理解释的。 * * 莫尔条纹技术基础 ②衍射原理 1）光栅副的衍射 G1 G2 1 0 -1 (-1,0) (0,-1) (0,0) (1,-1) (0,1) (1,0) (1,1) (1,2) 双光栅的衍射级 如图示 2）衍射光的干涉 光栅付衍射光有多个方向，每个方向又有多个光束，它们之间相互干涉形成的条纹很复杂，行成不了清晰的莫尔条纹，可以在光栅付后面加透镜L，在透镜的焦点处用一光阑只让一个方向的衍射光通过，滤掉其它方向