自动检测技术电容式传感器研讨.ppt

第四章 电容式传感器 4.1 电容式传感器的工作原理 4.2 电容式传感器主要性能 4.3 电容式传感器的特点和设计要点 4.4 电容式传感器等效电路 4.5 电容式传感器测量电路 4.6 电容式传感器的应用 4.7 容栅式传感器 4.1 电容式传感器的工作原理 1. 工作原理及类型 2. 变极距型电容传感器 3. 变面积型电容传感器 4. 变介电常数型电容式传感器 1. 工作原理及类型 2. 变极距型电容传感器 如果考虑式4-1的前两项，则 非线性误差： 由上讨论可知：(1)变极距型电容传感器只有在|Δδ0/δ0| 很小(小测量范围)时，才有近似的线性输出； (2)灵敏度S与初始极距δ0的平方成反比，故可用减少δ0的办法来提高灵敏度。例如在电容式压力传感器中，常取δ0＝0.1～0.2mm，C0在20～100pF之间。由于变极距型的分辨力极高，可测小至0.01μm的线位移，故在微位移检测中应用最广。解决方法有两个：（1）差动，（2）加固定介质 1、差动平板式电容传感器 2、加固定介质 3. 变面积型电容传感器（1）线位移平行板电容器 （2）圆柱形位移传感器 4、变电介质型电容式传感器 变介质型电容式传感器 平板式 4.2 电容式传感器主要性能 1. 静态灵敏度 被测量缓慢变化时传感器电容变化量与引起其变化的被测量变化