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0 第3章 应变式传感器 * 要求掌握 电阻应变传感器的基本原理 应变——电阻 之间的关系 压阻效应 半导体应变传感器:应变——电阻 之间的关系 测量电路,平衡条件,输出电压公式推导 测量电路的灵敏度 弄清:应力——应变——电阻变化——输出之间的关系 * 3.1 电阻应变片式传感器 第一节 电阻应变片的基本工作原理 1、导电材料的应变电阻效应 2、电阻应变片的结构与类型 第二节 电阻应变片主要特性及参数 第三节 测量电路 1、直流电桥 2、交流电桥 * 第一节 电阻应变片的基本工作原理 1、导电材料的应变电阻效应 * * 公式推导 可以看出,电阻值的相对变化率dR/R取决于三个基本因素: (1)电阻丝的电阻率相对变化量(dρ/ρ)。 (2)电阻丝长度的相对变化量(dL/L)。 (3)电阻丝截面积的相对变化量(dA/A)。 讨论电阻丝(线材)应变与电阻变化: 设纵向变化的相对变化量叫纵向应变?, ? = dl/l 横向变化的相对变化量叫横向应变?1 , ?1 = dr/r(r为半径) dA/A——圆形电阻丝的截面积相对变化量,设r为电阻丝的半径,微分后可得dA=2πr dr,则 由材料力学可知,在弹性范围内,金属丝受拉力时,沿轴向伸长, 沿径向缩短, 令dl/l=ε为金属电阻丝的轴向应变,那么轴向应变和径向应变的关系可表示为 : 式中, μ为电阻丝材料的泊松比, 负号表示应变方向相反。 如果受拉,则L变长,截面积A(A=πr2)变小: dr/r = - ?? dA/A = -2?? 推导:dR/R:(带入全微分方程) dR/R = ?+2??+d ?/? dR/R = ?+2??+d ?/? 或 dR/R = dL/L +2?dL/L+d ?/? 第一项: 因形变直接引起的电阻相对变化量,常称其为尺寸效应 第二项: 因应变使电阻率变化而引起的电阻相对变化量,常称其为压阻效应 将? = dL/L带入有 金属材料灵敏系数k0 灵敏系数为单位应变所引起的电阻相对变化,它受两个因素影响: 1.是受力后材料几何尺寸变化所引起, 即(1+2?)项; 2.是受力后材料电阻率变化所引起的,即(d ?/?)/?项。 dR/R = ?+2??+d ?/? 电阻率变化 电阻率变化是因材料发生变化时,其自由电子活动能力和数量均发生变化的缘故,也是因体积变化而造成的,即有: d ?/? = c dV/V 式中,c是一个常数,取决于材料成分 V为体积:V=AL dV/V = dA/A+dL/L = (1-2?) dL/L 即: d ?/? = c (1-2?) dL/L 带入上式得: k0 = (1+2?)+c (1-2?) 一般金属材料电阻丝在一定变形范围内,μ约0.3-0.5,k0第一项约为1.6-2.0,第二项近似为0。灵敏系数k0为常数。 第一项是应变引起,第二项因电阻率而引起,可以忽略。 电阻变化反映应力的变化。 2、电阻应变片的结构与类型 * 大 类 分类方法 应 变 片 名 称 金属 应变片 敏感栅结构 单轴应变片;多轴应变片 基底材料 胶基应变片;金属基应变片;浸胶基应变片;纸制应变片 制栅工艺 丝绕式应变片;短接式应变片;箔式应变片;薄膜式应变片 使用温度 低温应变片(-30℃以下);常温应变片(-30~60℃); 中温应变片(+60~+350℃);高温应变片(+350℃以上) 安装方式 粘贴式应变片;焊接式应变片;喷涂式应变片;埋入式应变片 用 途 一般用途应变片; 特殊用途应变片(水下、疲劳寿命、抗磁感应、裂缝扩展等) 半导体应变片 制造工艺 体形半导体应变片;扩散硅型半导体应变片; 薄膜型半导体应变片;N-P元件半导体型应变片 应变片按敏感栅的材料可分为金属应变片和半导体应变片两大类,见下表: 具有初始电阻值R的(金属)应变丝粘贴于试件表面时,试件受力引起的表面应变,将传递给应变片的敏感栅,使其产生电阻相对变化ΔR/R。 实验证明,在一定的应变范围内,有下列关系: (式2-12) 式中: εx 应变片轴向应变(测量的主应变方向) K=ΔR / (Rεx) 应变片的灵敏系数(应变片包括:应变栅、基底、粘合剂) 它表示在被测试件上的应变片,在其轴向受到单向应力时引起的电阻相对变化(ΔR/R),与此单向应力引起的试件表面轴向应变(εx)之比。 (1)灵敏系数 K(标定灵敏系数
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