钟雷等离子体及气体放电基础知识总结.pptVIP

等离子体及气体放电基础 研发部 钟雷 ①等离子体——物质的第四态 在目前已知可观测的宇宙空间中，99%的物质都不是上述三种形态，而是处于等离子态。 极光（左上） 闪电（右下） 3.等离子体分类 高温等离子体： 宇宙中恒星、核聚变反应堆（上亿度）； 低温等离子体： 辉光、电晕、火花、电弧。 在工业领域广泛应用的是低温等离子体，特别是辉光等离子体。 4.等离子体的特性 等离子体内充斥着的电子和离子，对电磁场的响应非常敏感。 因此我们可以简单总结： 电场具有加速带电粒子，尤其是电子的作用,通过加速赋予带电粒子能量； 磁场具有约束带电粒子围绕其圆周运动的作用。 人们利用电磁场来对等离子体施加影响，在各个领域取得应用。 核聚变装置（左上） 磁控溅射装置（右下） EAST装置截面 磁控溅射原理 ②气体放电原理 1.电离 通过高压或高能辐射等方式，使中性粒子变为带电粒子的过程。 电子经过电场加速，与原子碰撞产生一对新的电子和正离子。这样空间存在两个电子。 两个电子随后经过再次加速，与另外两个原子碰撞，产生另外两对电子和正离子。 2.完成雪崩电离的条件： 1)电子具有足够能量（打得狠） 要求电子在电场里加速到一定速度——高压电场； 加速过程中无碰撞——气体分子不能过于稠密。 2)电子和气体分子具有足够大碰撞几率（打得准） 要求气体分子又不能过于稀少，否则电离的次数太少。 因此决定放电过程的两个主要参数是气压和电压。 气体放电使用的工作气体最常见的是氩气(Ar) 。这是因为氩气化学性质稳定；作为单原子气体实现气体放电所消耗功率小；价格相对便宜等。 1)辉光放电 辉光放电是在高电压下，产生辉光的气体放电现象，也是工业生产中最常用的气体放电状态：如各种溅射镀膜。 其特点是放电电压高（可达数千伏特），电流很弱（几个毫安）。 2)火花放电 火花放电，是在电源功率不太大时，高压电极溅气体被击穿，出现闪光和爆裂声的气体放电状态。特点是在两极上产生时断时续的火花。 3)电弧放电 电弧放电是呈现弧状白光并产生高温（上万度）的气体放电状态，是气体放电的最终形式。 其特点是放电电压很低（几十伏特），电流很大（数十到数百安培）。 ③ 放电原理简介 以下简单地介绍工业应用中常见的辉光和电弧放电的基本原理。 电路 用电器正常工作时电路必须时刻处于导通状态。从电子运动的角度来看，电子从阴极（负极）出发，经过用电器的传输后达到阳极（正极）。对本行业而言，用电器即是各种镀膜设备。 镀膜设备（用电器）使用气体（如氩气）作为传输电子的介质。为了保持电路的畅通，就必须使气体内部产生大量的、可自由移动的带电粒子。 那么，如何区别不同的气体放电方式呢？ 继续往下看… 电路导通及放电方式的判定 电路导通需要时刻保证由阴极发出的电子数目和阳极接收的电子数目一致。——这是实现电路稳定工作的条件。 在我们目前所接触的放电设备中，阳极的作用即是单纯地接收电子。因此， 1.辉光 辉光放电主要用于溅射过程。其放电特征为：高电压（可达上千伏）和低电流（毫安量级）。 2.磁控溅射 溅射而来的靶原子相比真空蒸发时情形具有更高的动能（高一个数量级）。但靶原子的生产速率远小于蒸发，造成沉积速度缓慢。 磁控溅射原理 3.电弧 电弧放电是最激烈的放电形式。其特点是高电流（几十到数百安培）和低电压（几十伏特）。 ①.引弧： 通过引弧针造成电路短路，在引弧针和阴极靶接触的小范围内就会通过很大的电流（数百到上千安培）。该位置会急剧升温，使靶材（以钛为例）蒸发、电离。在阴极靶上方形成稠密等离子云。 ③.爆炸性发射 阴极发射电子撞击被蒸发的Ti原子引发电离，使等离子云内存在高密度Ti+离子。 Ti+离子随后轰击阴极保持靶材的炽热。在靶面引起爆炸性发射。发射大量的Ti原子、 Ti+、电子以及有害的液滴。其中Ti+可用于沉积。 由上面的步骤可见，电弧持续放电的关键在于阴极靶保持高热不断引起微爆炸。这就需要在阴极靶面上的小范围内保持大电流，这就是电弧放电高电流特征的来源。 4.电弧的利弊 电弧镀膜中，离子具有极高的动能和很好的沉积速率。但是无法避免的液滴使膜层的均匀性恶化，限制了其使用。 5.思考 1.我们区分不同的放电种类的依据是什么？ 2.辉光和电弧的放电特征有什么差别？ 3.是什么造成了这种差别？ 没有了！ ②.电子发射（场致发射）： 随后引弧针与阴极靶脱离接触