薄膜物理与技术-4薄膜制备中的相关技术讲课.pptVIP

4.4 薄膜制备的环境 4.4.1 大气中的尘埃粒子 4 薄膜制备中的相关技术 普通城市，较洁净状态，0.5 um以上的尘埃高达177000个/L。 4 薄膜制备中的相关技术 4.4 薄膜制备的环境 4.4.1 超净工作间标准与级别 以单位体积内存在一定直径以上的颗粒数为基础定义超净间级别。 按联邦标准209E，每立方英尺中0.5 um以上粒子数100个、10000个、100000个分别对应于FS100，FS10000，FS100000，即100级、10000级、100000级。 近年来，规定按每立方米中0.1 um以上的粒子数，分别对应为新1级（10个），新2级（100个），新3级（1000个）。新4级（10000个）等。 半导体、集成电路：新5级~新6级洁净室基片清洗；优于新3级环境镀膜。 思考题： 薄膜厚度的测量与监控的常用方法有哪些，工作原理？ 试比较物理干法刻蚀和化学干法刻蚀的机制。 化学法： i：DI-H2O:H2O2:(NH3+H2O)=6:1:1 除去有机沾污 ii：DI-H2O:HF=90:10 除去SiO2 SiO2+4HF=SiF4+2H2O iii：DI-H2O:H2O2:HCl =5:1:1 除去金属离子 Na++HCl=NaCl+H+ iv：DI-H2O:HF=10:1 除去SiO2 H2SO4-H2O2=4:1 后倒入浓硫酸 Hcl：HNO3=3:1 现配现用 返回 * * * * * * * 是一种目前最为常用的膜厚与沉积速率监控的方法。 丝网印刷由五大要素构成，即丝网印版、刮印刮板、油墨、印刷台以及承印物。丝网印刷基本原理是：利用丝网印版图文部分网孔透油墨，非图文部分网孔不透墨的基本原理进行印刷。印刷时在丝网印版一端上倒入油墨，用刮印刮板在丝网印版上的油墨部位施加一定压力，同时朝丝网印版另一端移动。油墨在移动中被刮板从图文部分的网孔中挤压到承印物上。 * * 电介质薄膜的厚度可以通过测量它的电容量来确定， 薄膜蒸发到电极上使被测电容发生了变化。 若已知薄膜的相对介电常数 和电极面积S，则膜厚为 式中电容C单位pF，S单位cm2. 在沉积介质膜时，也可以用电容器法来进行监控，通过测量特制的监控用的平板电容器的电容量变化来监控薄膜厚度。 如果以强度为I0的光照射具有光吸收性的薄膜， 则其强度衰减可用朗伯定律描述： I= I0 exp(-?d) 式中，d为膜厚，?是吸收系数。 设强度I0光从空气垂直垂直入射到厚度为d的薄膜，透 射光强度为It，则可定义透射系数Tt， Tt= It/ I0 光学方法 反射系数R，则在第一个界面上反射的光强变为RI0, 通过第一个界面进入样品的光强为 （1-R）I0 由于样品吸收，到达膜厚为d的第二个界面时光强为 （1-R）I0 exp(-?d) 通过第二个界面进入空气的光强为 （1-R）2 I0 exp(-?d) 在第二个界面反射的光 R（1-R）I0 exp(-?d) ，又在样 品内部射向第一个界面，在样品中吸收掉部分，达到第 一个界面又将发生透射和反射，如此多次发生样品内反 射和向样品外的透射。当反射次数很多时，可得到： 因此，通过测量光强度的变化，利用上式可确定吸收薄膜的 厚度。(已知 和R) 当ad值足够大或R2值较小，满足R2 exp(-2?d) 远小于1时，分母第二项可略去。 r1 光干涉法的理论基础是光的干涉效应。当平行单色光照射到薄膜表面上时，从薄膜的上、下表面反射回来的两束光在上表面相遇后，就发生干涉现象。而且，当一束光入射到薄膜上时，膜的反射光和透射光的特性将随薄膜厚度而变化。通过测定反映反射光或透射光特性的某个参量，即可测定薄膜的厚度。 显然，用这种方法所测量的是薄膜的光学厚度，以入射光的波长?作为计量单位，精确度达?10％ 。如果假设膜的折时率n与块材相同，则从光学厚度(nt)可求得薄膜的几何厚度t。 只有两列光波的频率相同，相位差恒定，振动方向一致的相干光源，才能产生光的干涉。 如果两束相干光的波程差等于波长的整数倍，则两束光相互加强。 如果波程差等于半波长的奇数倍，则两束光相互削弱。 因此，当膜层厚度相差 ?/2(光学厚度)时，即膜层的几何厚度相差 ?/