第6章之一光电直接检测系统(最新)资料.pptVIP

光电检测技术与应用 第六章（一） 第6章 光电直接检测系统 第六章（一） 光电直接检测系统 莫尔条纹有如下特征： ? 1）平均效应：莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同形成的，对光栅的刻划误差有平均作用，从而能在很大程度上消除光栅刻线不均匀引起的误差。 ? 2）对应关系：当指示光栅沿与栅线垂直的方向作相对移动时，莫尔条纹则沿光栅刻线方向移动（两者的运动方向相互垂直）；指示光栅反向移动，莫尔条纹亦反向移动。在图中，当指示光栅向右移动时，莫尔条纹向上运动。 ? 3）放大作用：莫尔条纹的间距是放大了的光栅栅距，它随着指示光栅与主光栅刻线夹角θ而改变。θ越小，B越大，相当于把微小的栅距P扩大了 倍。由此可见，计量光栅起到光学放大器的作用。 q sin / 1 例，对25线/mm的长光栅而言，P＝0.04mm，若θ=0.016rad，则B=2.5mm.，光敏元件可以分辨2.5mm的间隔，但无法分辨0.04mm的间隔。 ? 计量光栅的光学放大作用与安装角度有关，而与两光栅的安装间隙无关。莫尔条纹的宽度必须大于光敏元件的尺寸，否则光敏元件无法分辨光强的变化。 ? 4）莫尔条纹移过的条纹数与光栅移过的刻线数相等。例如，采用100线/mm光栅时，若光栅移动了x mm（也就是移过了100×x条光栅刻线），则从光电元件面前掠过的莫尔条纹也是100×x条。由于莫尔条纹比栅距宽得多，所以能够被光敏元件所识别。将此莫尔条纹产生的电脉冲信号计数，就可知道移动的实际距离了。 光电传感器输出信号波形 当光栅相对位移一个栅距时，莫尔条纹移动一个条纹宽度，相应照射在光电池上的光强度发生一个周期的变化，使输出电信号周期变化，其输出波形如图： 由此可知，只要计算输出电压的周期数，便可测出位移量。从而实现了位移量向电量的转换。在一个周期内，输出波形的变化是位移在一个栅距内变化的余弦函数，每一周期对应一个栅距。 但是如果只用一个光电元件，其输出信号还存在两个问题： ① 辨向问题：用一个光电元件无法辨别运动方向； ② 精度低；分辨力只为一个栅距P。 辨向原理： 用两个光电元件相距B/4安装（相当于相差90°空间角，B: 2π=B/4: π/2），如图所示，可以解决辨向问题。 当条纹上移时，V2落后于V1 90°。 当条纹下移时，V2超前于V1 90°。 因此，由V1、V2之间的相位关系可以 判别运动方向。 在辨向逻辑原理中，两个相隔1/4莫尔条纹间距的光电元件，将各自得到相差π/2的电信号u1和u2。它们经整形转换成两个方波信号u1’和u2’。 1）当光栅沿A方向移动时，u1 经微分电路后产生的脉冲（图中充填的脉冲）正好发生在u2’处于“l”电平时，从而经 Yl 输出一个计数脉冲；而u1’经反相并微分后产生的脉冲（图中未充填的脉冲）则与 u2’ 的“0”电平相遇，与门 Y2 被阻塞，没有脉冲输出。 2）当光栅沿“A一把”方向移动时，u1’的微分脉冲发生在u2’为“0”电平时，与门Y1无脉冲输出；而u1’ 的反相微分脉冲则发生在 u2’的“1”电平时，与门Y2输出一个计数脉冲。u2’ 的电平状态实际上是与门的控制信号，移动方向不同，u1’所产生的计数脉冲的输出路线也不同。于是可以根据运动方向正确地给出加计数脉冲或减计数脉冲，再将其输入可逆计数器，即可实时显示出相对于某个参考点的位移量。 细分技术（解决精度问题） 当使用一个光电池通过判断信号周期的方法来进行位移测量时，最小分辨力为1个栅距。为了提高测量的精度，提高分辨力，可使栅距减小，即增加刻线密度。另一种方法是在双光电元件的基础上，经过信号调节环节对信号进行细分，其电路框图如图所示。 四倍频法原理框图： 四 相 取 样 计 数 脉 冲 形 成 编 码 正反向计 数 数显输出 光电信号 1）四相信号的获得——为了消除莫尔条纹信号的直流分量和判向，需要四个相位差90°的谐波信号： θ 1 2 3 4 θ θ θ 3600 -sinθ cosθ sinθ -cosθ 四相信号波形图 运算 运算 运算 运算 + - + - - + + - DG1 DG3 DG2 DG4 Sinθ -Sinθ Cosθ -Cosθ 鉴零器 微分 t1 p1 2Sinθ 鉴零器 微分 t3 p3 -2Sinθ 鉴零器 微分 t2 p2 2Cosθ 鉴零器 微分 t4 p4 -2Cosθ 方波 尖脉冲 2）计数电路工作过程 ＋ ＋ 触 发 器 ＋ p1 t1 p4 t2 t3 p2 t4 p3 t1 p2 t2 p3 t3 p4 t4 p1 Q— 减法脉冲 Q+ 加法脉冲 Q主脉冲 （送可逆计数器） 可逆计数器加减法控制线上控制电位 7453、7