第三章粒子(束)与材料的相互作用(第二轮)技术方案.pptVIP

第三章 粒子（束）与材料的相互作用 当入射电子与原子中电子的作用成为主要过程时，由于作用粒子的质量相同，散射后入射电子的能量发生显著变化，这种过程称为非弹性散射。 在非弹性散射过程中，入射电子把部分能量传递给原子，引起原子内部结构的变化，产生各种激发现象。因为这些激发现象都是入射电子作用的结果，所以称为电子激发。电子激发是非电磁辐射激发的一种形式。 由于库伦相互作用，入射电子在固体中的散射比X射线强得多，同样固体对电子的“吸收”比X射线吸收快得多。随着激发次数的增多，入射电子的动能逐渐减小，最终被固体吸收（束缚）。 弹性散射和非弹性散射同时发生。前者使电子偏离原来方向引起电子在固体中扩散；后者使电子的能量逐渐减小，直至被固体吸收，从而限制了电子在固体中的扩散范围，这个范围称为电子与固体的作用区。 电子显微镜和其它相关分析技术检测的各种信号和辐射正是来自这个作用区。 IR为背散射电子流，它是入射电子与固体作用后又离开固体的总电子流。被散射电子主要由两部分组成，一部分是被样品表面原子反射回来的入射电子，另一部分是入射电子进入固体后通过散射连续改变前进方向，最后又从样品表面发射出去的入射电子。 背散射电子的最大信息深度约为电子最大穿入深度的一半。 Is表示二次电子流，它包括入射电子从固体中直接击出的原子核外电子和激发态原子退回基态（退激发）时产生的电子发射（如俄歇电子）。 前者为（真）二次电子，它们的能量较低，强度按能量连续分布；后者为特征二次电子，它们的能量取决于原子本身的电子结构，取一些分立的能量值。 当背散射电子返回到样品表面层，并具有足够的能量连续产生电子激发时，对二次电子发射也有贡献。 Ix表示电子激发诱导的X射线辐射强度。在入射电子发生非弹性碰撞过程中，x射线通过两种截然不同的过程产生。①入射电子在原子实（原子核和束缚电子，即失去价电子的正离子）的库仑场中减速，产生能量连续的X射线，其能量从0延伸到入射电子能量值。②当电子激发使原子内层电离，外层电子跳到内层填充空穴，这个跃迁过程伴随能量的变化，原子以发射特征x射线或一个俄歇电子的形式释放能量。 IE表示表面元素发射的总强度。尽管在材料分析中入射电子的能量不足以把固体原子直接击出，但电子能量可能引起一些固体的表面原子电离，使表面元素活化乃至解吸，这种现象又称为电子辐照分解。电子束可引起部分氧化物、多数氟化物和几乎所有的有机物的辐照分解。 IA为样品吸收电流。入射电子在固体中传播时，能量逐渐减小，最后会失去全部动能，被样品“吸收”。 AT为透射电子流。当样品的厚度小于入射电子的平均穿入深度使，一部分入射电子穿过样品，在样品的背面被接受或检测。 对于单元素固体 式中： E----电子的能量（Kev）； a----固体的单原子厚度（nm） 对于无机和有机固体材料 式中： a----平均单原子层厚度（nm） （1）能谱的低能端隆起的峰由真二次电子（能量小于或等于50ev）构成。用扫描电子显微镜做表面形貌观测时就是收集这部分电子并用来成像。 （2）在中间平滑背底上叠加着一些小峰，它们对应俄歇电子峰或入射电子的特征能量损失峰。前者对应俄歇电子能谱（AES），后者则构成电子能量损失谱（EELS），它们是常规的表面分析方法。 能谱中能量等于入射能量的电子是弹性背散射电子。当入射电子照射晶体样品时，由于电子的波动性，受不同原子弹性散射电子之间的干涉产生的衍射现象是材料电子衍射分析方法的基础。电子衍射分为低能电子衍射（LEED）、发射式高能电子衍射（RHEED）和透射电子衍射（TEM）。 设离子强度J[离子/（cm2.s）]在溅射区均匀一致，J、Y和剥蚀速率vz（单位时间内剥蚀深度）以及靶样品原子浓度N（原子/cm3）之间满足关系 设一个离子在它的动能耗尽前通过直接或级联碰撞使Nd个粒子（原子或离子）发生位移，Nd可表示为 * 电子与材料相互作用产生的信号及据之发展起来的分析方法 电子探针 * 第二节 离子束与材料的相互作用 一、散射 二、二次离子 动量和能量转移是离子与固体相互作用的重要特征。 * 一、散射 离子与固体原子的碰撞可以用台球间的碰撞来描述。 对碰撞过程的约束（来自电子的非弹性散射）可想像为在台球桌面上有一层水，即在两次碰撞之间也有能量损失。 因此，离子的能量取决于碰撞过程和碰撞之间所经历的路程。 1. 弹性散射 离子弹性散射的两大特点： ①散射几率正比于Zl和Z2的平方，因此，当入射离子由H+变为He+时，散射几率增加4倍； ②散射几率正比于1/sin4?，强烈地依赖于散射角2?，2?=90?的散射几率是2?=180?的4倍。 离子-原子碰撞 散射角 一般用Ar离子 散射后离子的能量 碰撞后离子的能量