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等离子体电解沉积技术 哈尔滨工业大学 化工学院 姚忠平 2011.02.21 等离子体电解沉积技术发展概述 1.0 尖端放电现象 1. 尖端放电 强电场作用下，物体尖锐部分发生的一种放电现象称为尖端放电, 属于一种电晕放电。 原理是物体尖锐处曲率大，电力线密集，因而电势梯度大，致使其附近部分气体被击穿而发生放电。如果物体尖端在暗处或放电特别强烈，这时可以看到它周围有浅蓝色的光晕。 放电物体接到电源上，它一边放电，一边不停的提供放电需要的电荷，这种放电会持续下去。 电风车 静电除尘 火焰导电 静电马达 避雷针 * 等离子体电解沉积技术发展概述 1.0 尖端放电 2.在表面改性技术的应用 (1)气体介质：如气体辉光放电等离子体技术，电火花加工技术，机械化学抛光技术等，广泛应用于等离子体刻蚀、材料合成和表面改性以及微电子器件等科学研究及技术应用领域。 金属表面强化冷补机是利用正、负极尖端放电将电极材料以离子化的形态转移并扩散至工件表面，使金属表面改性，并能进行堆焊及强化金属表面。 (2)液相介质：等离子体电解沉积技术 * 等离子体电解沉积技术发展概述 1.1等离子体电解沉积技术（PED）概念 在阳极氧化基础上发展起来的一种在金属或合金表面生长陶瓷膜的新技术。 处理过程是将金属或合金置于液相溶液中电解并施加一定的电压，利用电化学方法在电极试样表面产生等离子体微弧放电，在热化学、等离子体化学和电化学的共同作用下在金属表面生成陶瓷膜层。 * 等离子体电解沉积技术发展概述 1.2 PED发展过程 19世纪80年代俄国科学家Sluginov发现电解液中金属表面在较高阳极极化时存在火花放电。 20世纪30年代德国科学家Güntherschlze和Betz将铝镁等金属在阳极氧化过程中的阳极电压引入到非法拉第区，结果发现阳极表面产生“拉弧”，出现了火花放电的现象。 但却得出“只有在不高于火花电压时才能得到可实际应用的膜“的结论，该结论曾一度指导人们将成膜电压限制在火花放电之前。 后来也有研究者发现利用该放电现象获得的氧化膜可用于防腐，但是并没有得到普遍的关注。 * 等离子体电解沉积技术发展概述 1.2 PED发展过程 20世纪60年代McNiell和Gruss首次利用火花放电在一种含铌的电解液中将铌酸镉沉积在作为阳极的金属镉上，使得原先“电极表面上的火花对成膜有害的论点” 被打破。 20世纪70年代Г.А.Морков和他的合作者对火花放电条件下铝阳极沉积氧化物的研究，进一步正确地认识了这种火花放电现象，并利用此火花放电技术制备出了对基体具有保护作用的陶瓷膜，并把该技术称为微弧氧化或微等离子体氧化。 * 等离子体电解沉积技术发展概述 1.2 PED发展过程 几乎与与Г.А.Морков同时，美国伊利诺大学和德国卡尔马克思城大学用直流或单相脉冲电源开始研究Al、Ti等金属表面火花放电沉积膜，并分别命名为阳极火花沉积（ASD）和火花放电阳极氧化（ANOF）。 20世纪80年代起，人们开始了详细地研究该技术。在这方面进行研究的单位很多，如俄罗斯的Снежко等人、俄罗斯无机化学所的Г.А.Марков等、俄罗斯远东科学院化学所的Гордиенко和Федоров等人，德国的Kurze等人以及英国学者A. L. Yerokhin。 * 等离子体电解沉积技术发展概述 1.2 PED发展过程 20世纪90年代起至今，该技术引起越来越多专家、学者的关注，已成为国际材料科学研究的热点之一。前主要的研究国家有俄罗斯、美国、德国、英国、日本、韩国、印度以及中国等。 目前每年都发表大量的研究论文和申请相关发明专利。 主题=(plasma electrolytic oxidation) 1985-1999 2000 2001 2002 2003 2004 2005 2006 2007 2008 2009 2010 (1-4) 11 3 2 8 9 12 38 26 44 66 80 36 历年来SCI检索论文 2010.4.18 * 等离子体电解沉积技术发展概述 1.3 PED技术概念演化 PED在其不断的发展过程中，由于各国学者对该技术的理解不一样，尤其是随着处理方式、处理基体的改变，用于描述该技术的名称或术语出现了很多，甚至略微显得混乱，各种术语的含义也不尽相同，有些名称则反应了当时研究者对这种技术内涵的独特理解。 * 等离子体电解沉积技术发展概述 1.3 PED技术概念演化 阳极火花氧化类 等离子体液相电解沉积初期，由于膜层的制备仅限于阳极且一般为氧化物膜层的制备，并带有火