双光干涉法测sio2层厚度及p-n结结深解答.ppt

双光干涉法测度 层厚度及p-n结结深 实验十二 双光干涉法测sio2 层厚度及p-n结结深 实验概述 实验原理 实验系统 实验步骤 数据处理 实验重难点 实验概述 双光干涉法是测量薄膜厚度常用的方法。即可以测量透明膜也可以测量非透明膜,有很大的应用价值，绝不只限于本实验实施的范围. 本实验测量 和p-n结结深，要求学生掌握其测量原理和方法。 掌握膜像的观察和识别方法. 实验原理 1. 透明劈尖双光干涉法(以二氧化硅为例) 入射光分别在氧化层台阶表面和 界面处反射,形成相干光.利用光干涉原理可以得到二氧化硅层的厚度 N表示干涉条纹数量,n为 折射率 N的读法参考课本110页 2.空气劈尖双光干涉法 此方法用来测量非透明膜厚,以测量p-n结结深厚度为例.相关理论参考课本110-111页. 3.本次实验着重要求掌握6JA型双光干涉显微镜的原理及操作方法.在实验系统栏里有详细介绍. 实验系统光路原理 光源s发出的光经过分光板T后分为两束，一束经过分光板T，补偿板T1,显微物镜 O2后射向工件P2表面.由P2反射后经原路返回至分光板T，再在T上反射，射向观察目镜O3，另一束由分光板T反射后通过目镜O1射到标准镜P1上，由P1反射，再通过目镜O1并透过分光板T，也射向观察目镜O3。它与第一束光线产生干涉，于是透过目镜O3可以看到定位在工件表面上的干涉条纹。如下图所示. 一. 测dsio2-----透明膜厚度 1.调视场（测试准备）(操作按钮见前实验仪器) （6）旋至“干涉”位置，（10）顺时针旋到“目视”处；转动调节手轮（8），使视场下方“刀口象”清晰。 2.找物象 (6)旋至“物象”位置；将被测样品有膜面向下放在工作台（2）上。 2.1. 聚焦物象：转动（2c），使样品上下移动，得到清晰物象（清晰斑点）。 2.2. 找台阶：转动（2b），并同时平移（2a），直至看到台阶（有干涉条纹出现）。 3.找干涉条纹 再次转动（2c）聚焦，直至观测到更清晰的干涉条纹。 4.读条纹数N 注：公式dsio2=N*(λ/2*n)中的λ=5400A，是绿光波长，因为白光中绿光最强； n=1.46,为sio2的折射率；N: 条纹数 二 测xj---结深（非透明膜） 1.调视场（测试准备） （6）调至“干涉”位置，（10）顺时针调到“目视”处； 转动调节手轮（8），使视场“刀口象”清晰。 2.找物象 (6)旋至“物象”位置；将被测样品有膜面向下，放在工作台（2）上； *2.1 聚焦物象：转动（2c），使样品上下移动，得到清晰物象； *2.2 找台阶：转动（2b），并同时平移（2a），直至看到台阶； *3.找干涉条纹 将（6）调至“干涉”处，再细心的来回旋转（14），直到看到条纹。 4.干涉条纹方向及宽度的调整 调节（7/7a）、（9），使干涉条纹方向与台阶垂直，并将干涉条纹调到合适的宽度。再调节（8），使干涉条纹更清晰。 5.测量及读数 松开(1b)，转动（1），使视场中的十字线之一与干涉条纹平行；旋动(1a)至适当的位置，再在（1a）上进行读数，得到条纹宽度a及条纹弯曲量b的数据。 注：公式xj=(b/a)*(λ/2)中的λ=5400A，读绿光的a和b 数据处理 利用所测数据计算出两种膜的厚度,公式在试验步骤里已有说明. 实验重难点 1. 两种不同膜的测量方法. 2. 6JA型双光干涉显微镜的光路原理. 3.膜像观察和识别的方法(透明膜和非透明膜成像的区分方法). 4.了解薄膜制作工艺:热氧化,溅射. * * 实验系统 一.光路原理 仪器内部光路如右图所示. 二.实验仪器如两图所示（从不同角度拍摄） 两图中各旋纽作用 见下页 旋纽代号 旋纽名称 旋纽用途 1a 测微目镜上鼓轮 移动目镜视场中的十字线，并能从分化板刻度 和鼓轮上读出位移量。 2a 手推滚动轮 2a 向任意方向移动工作台。 2b 手推滚动轮 2b 可以使工作台360度旋转。 2c 手推滚动轮 2c 可以使工作台纵向运动，以便调焦。 7或 7a ? 改变干涉条纹方向。 9 ? 改变干涉条纹宽度。 14 ? 使物镜O1和标准P1作轴向